Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9650 #293814960 zu verkaufen

KLA/TENCOR Puma 9650 ist eine automatisierte Prüf- und Messtechnik für Wafer, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es kombiniert Technologie für die schnelle und genaue Prüfung von Musterscheiben mit mehreren Inspektionstechnologien für eine komplette Reihe von Testfunktionen. Das KLA Puma 9650 System nutzt optische helle Felder (OBF) und fortschrittliche Messtechnologien, um schnell vollständige Waferinspektionen und Messungen durchzuführen. Es verfügt über vollständige Wafer-Bildgebungs- und Mustererkennungsfunktionen, einschließlich einer verbesserten hochauflösenden farbigen CCD-Kamera, um Waferbilder schnell zu erfassen und einen detaillierten Überblick über die Funktionen des Wafers zu bieten. Seine Overlay-Stepper-Ausrichtung sorgt für Genauigkeit bei Overlay-Messungen und die Wiederholbarkeit der Testergebnisse. Die messtechnischen Fähigkeiten der Einheit umfassen dreidimensionale Bildgebung für detaillierte Charakterisierungen von Strukturen im Nanometermaßstab, Seitenwanddicke und Überlagerungs-/Registrierungsmessungen. Es kann auch verwendet werden, um Parameter wie kritische Dimension (CD) und Linienbreitenrauheit (LWR) auf einer Vielzahl von Wafersubstraten wie Kupfer, Titan und Galliumarsenid zu messen. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, verfügt TENCOR Puma 9650 auch über eine Wafer-Autofokusmaschine und ein Hochleistungs-Beleuchtungswerkzeug für die Hellfeldbildgebung. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer auf höchstem Detailniveau im Fokus steht und die Genauigkeit der Messungen verbessert. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein patentiertes Hybridstufen-Modell, das die Flexibilität bietet, zwei Arten von Messungen auf Wafer-Ebene und Matrizen-Ebene durchzuführen. Dies hilft, Nacharbeiten und Materialkosten zu reduzieren, da kleine Probengrößen getestet werden können. Die integrierte VisionLink-Software bietet eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche und ermöglicht automatisierte Tests und Analysen. Es bietet leistungsstarke Datenanalysefunktionen für eine umfassende Fehleranalyse und Trendanalyse. Darüber hinaus vereinfacht die Software den Einrichtungsprozess für grundlegende und komplexe Messungen und ermöglicht eine schnelle und mühelose Bedienung. Insgesamt ist Puma 9650 eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die genaue Messungen und schnelle Inspektion von gemusterten Wafern ermöglicht. Mit seinen fortschrittlichen Messtechnik-Systemen und Hybridstufensystemen eignet sich das Gerät gut für Anwendungen wie Photomasken-Fehlerinspektion, berührungslose Wafer-Sonden-Tests und die Ertragsüberwachung.