Gebraucht KLA / TENCOR Quantox XP #293830783 zu verkaufen

KLA/TENCOR Quantox XP ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die schnelle, genaue und rückverfolgbare Messungen an Wafern liefert. Es ist für den Produktionseinsatz in Halbleiterherstellungsumgebungen konzipiert und kann für eine Vielzahl von Halbleitermesstechnik-Anwendungen verwendet werden, einschließlich der Messung der kritischen Dimension (CD), der Linienkantenrauhigkeit (LER), der isolierten Linienbreite, des Kontaktlochs und der Bauelementinteraktionsmatrix (DIM M rix). Das System besteht aus drei Hauptmodulen - einem motorisierten Proben- „Pick and Place“ -Modul, einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) -Bildgebungs- und Mustermodul und einem Mikrosondenprobenanalysemodul. Das Pick-and-Place-Modul ist für die Positionierung des Wafers auf der Bühne verantwortlich, während das SEM-Abbildungsmodul die Abbildung von Merkmalsmustern auf dem Wafer ermöglicht. Das Mikrosondenprobenanalysemodul dient der eingehenden Analyse der Merkmale des Wafers. Herzstück der Einheit KLA Quantox XP ist die Softwareplattform GEMStar, die den gesamten messtechnischen Prozess von der Probenplatzierung bis zur Funktionsmessung erleichtern soll. Die Plattform ist benutzerfreundlich gestaltet und bietet ein umfassendes Datenmanagement über den gesamten Testprozess. GEMStar verfügt auch über eine umfangreiche Bibliothek von Algorithmen, die es ermöglichen, mehrere Arten von Messungen durchzuführen. TENCOR Quantox XP Maschine ist mit einer Vielzahl von Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die einen konsistenten und zuverlässigen Betrieb gewährleisten. Das Werkzeug verfügt über einen automatisierten Kalibrierungsprozess, der die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen für jeden Wafer gewährleistet. Dies kombiniert mit einem automatisierten Probenbeladungs- und Reinigungsprozess ermöglicht eine unterbrechungsfreie und effiziente Wafer-Messtechnik. Das Asset verfügt auch über mehrere fortgeschrittene Analysetools, einschließlich Funktionserkennung, Multi-Feature-Kontaminationserkennung, automatisierte Optimierung für die Datenerfassung und vieles mehr. Darüber hinaus ist das Modell Quantox XP auf die Kompatibilität mit anderen bestehenden UCK-Systemen ausgelegt. Es bietet eine nahtlose Integration mit anderen Systemen in die Ausrüstung eines Kunden der Wahl, um Prozesskonsistenz und Datengleichförmigkeit zu gewährleisten. Insgesamt ist KLA/TENCOR Quantox XP ein robustes Wafer-Prüf- und Messsystem, das schnelle, genaue und rückverfolgbare Messungen auf Wafern ermöglicht. Mit seinen umfangreichen Automatisierungsfunktionen, der robusten Datenmanagementplattform und der Kompatibilität mit anderen TENCOR-Systemen ist KLA Quantox XP der perfekte Partner für jede Halbleiterherstellungsumgebung.