Gebraucht KLA / TENCOR Quantox XP #9296678 zu verkaufen
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ID: 9296678
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Measurement system, 12"
CE Marked
2001 vintage.
KLA/TENCOR Quantox XP ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für eine umfassende Fehleranalyse und Fehlerdiagnose konzipiert ist. Es verfügt über fünf Hauptmerkmale, die es ermöglichen, gescannte Daten von Wafern oder anderen Substraten genau zu messen und zu verarbeiten. Zunächst erfasst ein digitales Abbildungssystem Bilder der Waferoberfläche und ermöglicht genaue Inspektionen und Messungen der Wafergeometrie sowohl auf Makroebene als auch auf Submikronebene. Zweitens bietet die Detektionseinheit ein optimales Signal-Rausch-Verhältnis und Vollfeldmessfähigkeiten bei Auflösungen von bis zu 5 µm. Dies ermöglicht die Erkennung auch kleinster Defekte und Verunreinigungen. Drittens ermöglichen die fortschrittlichen Lumineszenz-Bildgebungsfunktionen der Maschine die Bewertung von Dotierstoffabbildungen, Kornstruktur, Photolithographie und Quantenpunktanwendungen. Viertens ist KLA Quantox XP einzigartig für automatisierte Wafer-Mapping und Fehlerinspektion in Echtzeit konzipiert, was einen hohen Prozessdurchsatz ermöglicht. Es verwendet fortgeschrittene benutzerdefinierte Rezepte für den automatisierten Betrieb auch in komplexen Umgebungen. Schließlich bieten die umfassenden Analyse- und Berichtsfunktionen des Tools detaillierte Rekonstruktionen der Wafer-Defektlandschaft und eine umfassende Charakterisierung von Mängeln in der Produktion. Für Waferhersteller bietet diese Anlage eine signifikante Qualitätsverbesserung durch Identifizierung und Qualifizierung signifikanter Mängel während der Produktion, wodurch kostspielige Nacharbeiten und Schrott vermieden werden. Es ist einfach zu bedienen, mit einfacher GUI-basierter Bedienung. Darüber hinaus ist es auf Skalierbarkeit ausgelegt, so dass der Benutzer mit einem Basismodell beginnen und weitere Funktionen hinzufügen kann, da die Prozessanforderungen anspruchsvoller werden. Schließlich wurde es für die langfristige Nutzung mit erweiterbaren Komponenten entwickelt, um eine kontinuierliche Verbesserung der Geräteleistung zu ermöglichen.
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