Gebraucht KLA / TENCOR Quantox XP #9296679 zu verkaufen
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ID: 9296679
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
Measurement system, 12"
CE Marked
2002 vintage.
KLA/TENCOR Quantox XP ist eine branchenführende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die effiziente, genaue und zuverlässige Charakterisierung von Halbleiterscheiben. Mit fortschrittlicher Bildgebungstechnologie und hochgenauen Analysealgorithmen bietet KLA Quantox XP präzise Messungen der elektrischen, optischen und physikalischen Eigenschaften der Waferoberfläche. Das innovative Design des Systems ermöglicht es, große 1.000mm und 300mm Wafer sowie kleinere Chips schnell zu scannen. Es verwendet eine flexible Multi-Kamera- und Multi-Lichtquellen-Plattform mit patentierter Mehrfachspektrum-Bildgebung mit zwei Wellenlängen und präzisen Bildanalyse-Algorithmen, um Fehler auf einer Waferoberfläche genau zu erkennen. Diese leistungsfähige bildgebende Technologie kann unterbeugungsbegrenzte Defekte wie Linienbreiten bis zu 0,1 µm und darunter isolieren. Das Softwarepaket von TENCOR Quantox XP ermöglicht es Benutzern, dreidimensionale Oberflächenkarten gleichzeitig mit genauer Überlagerung zum Vergleich mehrerer Wafer und Fehlertypen anzuzeigen. Neben unterschiedlichen visuellen Darstellungen der Waferoberfläche verfügt Quantox XP über die Fähigkeit, eine Vielzahl von elektrischen, optischen, mechanischen, chemischen, thermischen und anderen Eigenschaften des Wafers zuverlässig zu messen. Dazu gehören Messungen von Abmessungen, Oberflächenrauhigkeit, Form, elektrischen Eigenschaften, optischen und strukturellen Eigenschaften und Temperatur. Das Gerät kann jede Eigenschaft mit unglaublicher Genauigkeit messen und Wafer-Verarbeitungsingenieuren wertvolles Feedback bezüglich der Produktqualität geben. KLA/TENCOR Quantox XP verfügt auch über automatisierte Auswertungstools, mit denen Benutzer experimentelle Setups anpassen können, die ihren Testanforderungen am besten entsprechen. Dazu gehören die Konfiguration mehrerer Tests innerhalb desselben Testprogramms, die automatische Testoptimierung und die Leistungsanalyse. Das integrierte Analysepaket erstellt nach Fertigstellung schnell umfassende Testberichte. Abschließend ist KLA Quantox XP die perfekte Lösung für effiziente und zuverlässige Wafertests und Messtechnik. Mit leistungsfähiger Bildgebungstechnologie, kundenspezifischer Software und präzisen Multi-Parameter-Messungen bietet diese Maschine die bestmögliche Datenanalyse für die Herstellung von Halbleiterschaltungen.
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