Gebraucht KLA / TENCOR RE35e #9130305 zu verkaufen

KLA / TENCOR RE35e
ID: 9130305
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR RE35e ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für hochpräzise Oberflächen- und Tiefenmesstechnik-Inspektionen von Halbleiterbauelementen. Das System bietet eine hervorragende Leistung auf kleiner Fläche, ohne die Messgenauigkeit zu beeinträchtigen. Die KLA RE35e wurde entwickelt, um überlegene und sehr präzise Wafer-Pegelmessungen bereitzustellen und gleichzeitig höhere Durchsatzraten zu ermöglichen. Es umfasst eine fortschrittliche Multi-Achsen-CCD-Plattform mit einem hochauflösenden optischen Transfermodul und modernsten Hard- und Softwarelösungen, die sowohl für die Inline- als auch für die laborbasierte Messtechnik geeignet sind. Es verfügt über einen integrierten, zweistufigen Mustergenerator, mit dem verschiedene Mustergrößen und -tiefen gemessen werden können. Die Mustererzeugungsmethode sorgt für konsistente, hochauflösende Ergebnisse, unabhängig vom Wafermaterial oder Prozesstyp. Die integrierten Fokus- und Ausrichtungsalgorithmen von TENCOR RE35e ermöglichen kostengünstigere und sehr schnelle Messungen. Darüber hinaus bieten sein fortschrittliches optisches Modul, die flexible Mustererzeugung und hochpräzise Servomotoren sehr präzise und genaue Messungen, ohne Artefakte in die Ergebnisse einzuführen. RE35e verfügt über eine intuitive benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, mit der Benutzer das Gerät einfach für verschiedene Anwendungen und Aufgaben einrichten und konfigurieren können. Benutzer können einfach auf viele Funktionen der Maschine zugreifen und diese steuern. Der Anwender kann aus verschiedenen Einstellungen wählen, darunter Messtechnik-Typ (z. B. CD, laterale kritische Dimension, Dicke usw.), Belichtungseinstellungen (Neigung, Fokus, Belichtungszeit) und erfasste Datenerfassungsparameter (z. B. Abtastraten, Verstärkung, Linearität usw.). Das Tool bietet auch mehrere erweiterte Funktionen, wie mehrere Standortmessungen Erkennung, automatisierte Wafer-Mapping, Signalanalyse, und optische Modellbau. Dies ermöglicht es Benutzern, sehr genaue Messungen zu erhalten und gleichzeitig einen schnelleren Durchsatz zu ermöglichen. KLA/TENCOR RE35e ist eine ideale Wahl für Forschung und Produktion, da es präzise und schnelle Oberflächen- und Tiefenmesstechnik-Inspektionen ermöglicht. Es wird die Effizienz maximieren, Fehlerraten reduzieren und zuverlässige Daten gewährleisten.
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