Gebraucht KLA / TENCOR RS-35 #9137627 zu verkaufen

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KLA / TENCOR RS-35
Verkauft
ID: 9137627
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR RS-35 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die Anwendern präzise Informationen über den Zustand von Halbleiterscheiben zur Verfügung stellt. Das System nutzt fortschrittliche Optik und digitale Bildgebung, um physikalische Anomalien in der Waferoberfläche zu erkennen und zu messen. Einmal identifiziert, können die Anomalien beurteilt werden, um ihre Auswirkungen auf die Waferqualität zu bestimmen. Das Gerät basiert auf optischen KLA SensArray Detektoren, die in der Lage sind, physikalische Beweise bis zu 8 nm zu messen. Die SensArray Detektoren verwenden hochauflösende digitale Bildgebung, um Bilder der Waferoberfläche zu erstellen, die 1.000 Mal schärfer sind als herkömmliche bildgebende Systeme. Die resultierenden Bilder zeigen alle Anomalien, die in der Waferoberfläche vorhanden sein können, wie Kratzer, Chips oder Gruben. KLA RS-35 führt seine Messungen nach denselben Prinzipien durch wie herkömmliche optische Messsysteme, jedoch mit verbesserter Geschwindigkeit und Genauigkeit. Die Maschine kann Messungen an bis zu 400 Chips pro Stunde mit einer Auflösung von 1 nm durchführen. Dies ermöglicht eine schnellere Erkennung von potenziellen Defekten in der Wafe-Oberfläche. Außerdem wird sichergestellt, dass Schäden vor Beginn der Produktion identifiziert und angegangen werden. TENCOR RS 35 beinhaltet auch ein integriertes Modul zur Fehlerklassifizierung. Dieses Modul verwendet einen Algorithmus, der erkannte Anomalien in Kategorien wie Musterunregelmäßigkeiten, Widerstandsschwankungen oder Partikelfehler klassifiziert. Dadurch kann der Anwender potenziell problematische Mängel schnell erkennen und Korrekturmaßnahmen ergreifen, um eine möglichst hohe Qualität im Endprodukt zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst RS-35 auch ein Wafer-Ebenheitsmodul. Dieses Modul misst die Flachheit des Wafers und identifiziert nicht flache Bereiche, die Produktionsprobleme verursachen können. Dieses Modul trägt dazu bei, dass mit dem Werkzeug hergestellte Wafer höchsten Standards entsprechen. RS 35 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für Tests und Messtechnik, das Anwendern eine effiziente und genaue Methode zur Identifizierung potenzieller Fehler in Wafern bietet. Die erweiterten Funktionen für Optik, digitale Bildgebung und Fehlerklassifizierung sorgen dafür, dass Benutzer die Qualität ihrer Wafer schnell und genau beurteilen können.
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