Gebraucht KLA / TENCOR RS-55TCA #9195303 zu verkaufen
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KLA/TENCOR RS-55TCA ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für Halbleiterherstellung und IC-Design. Es ist ein vollautomatisches System, das eine hochauflösende Fehleranalyse, Ertragsmanagement, Prozesssteuerung und Fehleranalyse ermöglicht. Das Gerät bietet hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit bei der Überwachung und Steuerung der Produktion integrierter Schaltungen. KLA RS55TCA Maschine kombiniert einen CCD (Charge-Coupled Device) Sensor, einen Die-to-Wafer-Aligner und eine mehrachsige Stufe, um Bilder mit hoher Auflösung und außergewöhnlicher Genauigkeit zu liefern. Der CCD-Sensor verwendet ein patentiertes optisches Bildgebungswerkzeug, um nicht sichtbare Informationen auf der Individual- und Stempelebene zu erfassen. Eine fortschrittliche Mikroskop-Bildgebungstechnologie wird dann verwendet, um Defekte von 10 - 40 µm zu analysieren und zu erkennen. Der Die-to-Wafer-Aligner registriert die Wafer-Topographie und bietet ein großes Sichtfeld, um Fehler genau zu lokalisieren und zu identifizieren. Die mehrachsige Stufe bietet eine hohe Bewegungsgenauigkeit für präzise Positionierung und Bewegung. TENCOR RS-55 TCA ist mit einer Kalibrierkiste kalibriert, die Präzisionsmesstechnik auf Submikron-Ebene gewährleistet. Das Asset ist in der Lage, bis zu acht verschiedene Parameter von verschiedenen Standorten auf dem Wafer zu messen. Von Die-by-die-Messungen bis hin zu Photomultiplier-Messungen auf Makroebene kann TENCOR RS 55 TCA eventuelle Unregelmäßigkeiten bei der Herstellung integrierter Schaltungen erkennen. Das Modell kann auch Merkmale wie Dünnschichtabscheidung, Kornstruktur, Querschnittsbildgebung und TEOS (Tetraethylorthosilikat) -Abscheidungen nachweisen. RS-55TCA ist ein fortschrittliches Messtechnik-Tool für die Herstellung und Herstellung von Chips. Es wurde entwickelt, um hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu liefern und gleichzeitig zuverlässige Daten bereitzustellen, die das Ertragsmanagement und die Prozesskontrolle unterstützen können. Dieses Tool kann dazu beitragen, die Qualitätssicherung des Endprodukts sicherzustellen und gleichzeitig Produktionsprobleme zu identifizieren und zu mindern. KLA/TENCOR RS 55 TCAs robuster Multi-Axis-Stage, CCD-Sensor und Die-to-Wafer-Aligner bieten eine leistungsstarke Kombination für präzise und zuverlässige Wafer-Tests und Messtechnik.
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