Gebraucht KLA / TENCOR RS-55TCA #9245519 zu verkaufen

KLA / TENCOR RS-55TCA
ID: 9245519
Resistivity mapping system SMIF.
KLA/TENCOR RS-55TCA ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um fortschrittliche, umfassende Analyselösungen für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse von heute bereitzustellen. Mit seinen automatisierten Ausrichtungs- und Roboterhandhabungssystemen kann es die Herausforderung bewältigen, Hunderte von Wafern in einer einzigen Charge zu inspizieren. KLA RS55TCA ist in der Lage, über die gesamte Oberfläche bis zu 8200 Punkte pro Wafer zu messen. Das System ist mit einer motorisierten, vollautomatisierten Fünf-Achsen-Ausrichteinheit ausgestattet, die eine höhere Präzision aufweist als viele andere Systeme, die derzeit verfügbar sind. Es ist in der Lage, Wafer mit Größen von bis zu 200mm Durchmesser sowie Wafer aller Dicken von 200mm bis 500mm genau zu messen. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, eine breite Palette von Wafereigenschaften zu messen, einschließlich Dicke, Ebenheit, Oberflächenspannung und elektrische Eigenschaften. TENCOR RS-55 TCA enthält auch eine Vielzahl von fortschrittlichen Metrologie-Tools, wie seine BandViewer-Funktion, die eine erweiterte Waferanalyse ermöglicht, indem mehrere Wafer in Echtzeit verglichen werden. Darüber hinaus bietet es mehrere erweiterte Funktionen, wie ein Bordcomputer-Tool, das bis zu 4 GB Daten mit bis zu 25.000 Testdatensätzen speichern kann. Es ist auch in der Lage, benutzerdefinierte Messprogramme zu erstellen und bietet eine grafische Benutzeroberfläche für die einfache Implementierung dieser Programme. KLA RS 55 TCA beinhaltet auch ein einzigartiges Qualitätssicherungsmerkmal, das die Genauigkeit der durchgeführten Messungen garantieren soll. Es verfügt außerdem über eine Hochgeschwindigkeits-Scan-Option, die schnellere Durchlaufzeiten ermöglicht und die Minimierung von Prozessausfallzeiten unterstützt. KLA/TENCOR RS 55 TCA ist ein sehr vielseitiges und fortschrittliches Wafer-Test- und Messtechnik-Asset, das kritische Prozesseinblicke zur weiteren Ertragsoptimierung und Kostensenkung bietet. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen und wurde entwickelt, um hohe Genauigkeit und Präzision bei der Prüfung zu liefern, um zuverlässige Daten und Ergebnisse zu liefern.
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