Gebraucht KLA / TENCOR RS Series #293597083 zu verkaufen
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Die KLA/TENCOR RS-Serie ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für eine effiziente und genaue Überwachung der Mikroelektronik-Produktion und -Verpackung konzipiert ist. Es ist ein vollautomatisches System, das eine schnelle und zuverlässige Prüfung von Waferoberflächen ermöglicht. Die KLA RS Serie besteht aus drei verschiedenen Modellen mit unterschiedlichen Merkmalen und Fähigkeiten. Das Modell RS 300 ist für eine fortschrittliche 3D-Prozesssteuerung mit kritischer Dimensionsabtasteinheit oder CD-SEM konzipiert. Es ist in der Lage, Oberflächendefekte und Rauheit mit hoher Genauigkeit und Reproduzierbarkeit zu erkennen, auch auf den kleinsten Schaltungsmustern. Der RS 300 enthält auch ein optisches Mikroskopie-Modul mit Farbvideo-Fähigkeit, um hochauflösende Bilder und Messungen der Filmdicke, Ätztiefe/-profil, Korngröße und optischen Eigenschaften bereitzustellen. Das Modell RS 500 ist für die präzise Messtechnik von Oberflächen und dünnen Folien bestimmt. Es ist mit einem dielektrischen Whitelight-Reflektometer ausgestattet, das dielektrische Eigenschaften des Wafers ohne Probenkontakt analysieren und messen kann. Dies ermöglicht präzisere und konsistentere Ergebnisse über die gesamte Waferoberfläche. Das Modell umfasst auch ein Massenspektrometer-Modul, das die Analyse und Quantifizierung von Gaskontaminanten und inerten Spezies ermöglicht. Das fortschrittlichste Modell der TENCOR RS Serie ist die RS 1000, die für Hochleistungs-, Mapping-Level-Messungen und Überwachung in Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Dieses Modell umfasst eine integrierte transmissive Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) -Maschine zur direkten Beobachtung von Nanostrukturen und -merkmalen. Das Werkzeug verfügt zudem über eine interferometerbasierte „berührungslose“ 3D-Oberflächenmessanlage, die geräuscharme und Restphasenmessungen mit mehr Genauigkeit und Präzision als je zuvor ermöglicht. Abschließend ist die RS-Serie die perfekte Lösung für erweiterte Wafertests und Messtechnik. Es kann genaue Messungen von Oberflächeneigenschaften und Nanopattern liefern, ermöglicht die Überwachung von Kontaminationsstufen und bietet unvergleichliche Datenanalysefunktionen. Sein automatisiertes Modell sorgt für schnelle und effiziente Ergebnisse, was eine höhere Produktivität und verbesserte Qualitätskontrolle bei der Herstellung von Mikroelektronik ermöglicht.
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