Gebraucht KLA / TENCOR SFS 6200 #9083816 zu verkaufen

KLA / TENCOR SFS 6200
ID: 9083816
Particle counter systems.
KLA/TENCOR SFS 6200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet ultrapräzise Analysen und schnellen Durchsatz für eine effiziente und zuverlässige Produktion. Das System ist in der Lage, Substrattests, charakterisierende Oberflächen, Musterprüfung und Messtechnik, zusammen mit Datenextraktion und Wafer geometrische Charakterisierung. Es ist auch in der Lage, Überwachung und Regulierung zu verarbeiten. Das Gerät verfügt über eine Hochgeschwindigkeits-optische Abtastung mit hoher Genauigkeit, die bis zu 16 Mikrometer Fahrt im 8-Zoll und 12-Zoll-Wafergrößenbereich ermöglicht. Der hochempfindliche optische Detektor der Maschine liefert schnelle und genaue Messungen und sorgt für genaue und fehlerfreie Testergebnisse. Um Waferintegrität und überlegene Oberflächenrauhigkeit zu gewährleisten, werden die Messergebnisse mit einem Mikrometer korreliert. Das Werkzeug ist mit drei Kameras, zwei mit linearen Stufen und einer mit Freistrahl ausgestattet. Dies bietet eine effiziente und vielseitige Oberflächenabtastung mit Messungen und Erkennung in der X- und Y-Ebene. Die linearen Stufen ermöglichen eine präzise Bewegung in beiden Ebenen, was eine hohe Genauigkeit der Messungen von Probenoberflächenmerkmalen wie Höcker, Gruben, Kratzer, verzerrte Oberflächen und Defekte ermöglicht. KLA SFS 6200 verwendet eine Kombination aus fortschrittlicher Optik, Bewegung, Software und Elektronik für überlegene Leistung und überlegene Genauigkeit zu 1 Sigma. Es verwendet auch innovative Algorithmen zum Sammeln von Oberflächendaten und maximiert die verfügbaren Informationen in jedem Wafer. Insgesamt ist TENCOR SFS6200 ein leistungsfähiges und vielseitiges Test- und Messtechnik-Asset, das überlegene Durchlaufzeiten und höchste Genauigkeit bietet. Es ist in der Lage, Oberflächenanalyse und Charakterisierung, bietet überlegene Leistung, Geschwindigkeit und Effizienz in der Halbleiterproduktion.
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