Gebraucht KLA / TENCOR SFS 6420 #293755921 zu verkaufen

KLA/TENCOR SFS 6420 ist eine umfassende Prüf- und Messtechnik für Halbleiterbauelemente. Dieses System kann eine Vielzahl von Wafergeometrien und Gerätefunktionen verarbeiten, einschließlich Logik- und Speichergeräten. Es ermöglicht Benutzern, sowohl die Oberseite als auch die Rückseite eines Wafers gleichzeitig zu inspizieren, wodurch die Notwendigkeit entfällt, den Wafer zu drehen oder umzukehren und seine physikalischen Eigenschaften schnell auf Unregelmäßigkeiten oder Defekte zu überprüfen. Die KLA SFS 6420 verfügt über einen großen Arbeitsraum für eine breite Palette von Wafergrößen und kann Wafer mit Durchmessern von 66 mm bis 300 mm verarbeiten. Es bietet auch ein hochpräzises optisches Mikroskopmodul zur Inspektion der oberen und unteren Oberflächen des Wafers mit einer Auflösung von bis zu 0,7 Mikron. Das Mikroskop kann verschiedene Merkmale auf den Oberflächen messen und auswerten, darunter lithographische Muster, CD-Messungen (kritische Abmessungen), IP-Messungen (Bildmuster), elektrische Offen-/Kurzkontrollen, Lasergriffmarkierungen, Kratz- und Punktfehler usw. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Algorithmen und intelligenter Bilderkennungs- und Analysesoftware ausgestattet, um Unregelmäßigkeiten oder Defekte in der Waferoberfläche zu erkennen. Seine proprietäre 3D-Inspektionstechnologie ermöglicht die zerstörungsfreie Messung der Höhe und des Volumens von mikrometergroßen Strukturen, wodurch Mikrofeaturen auf dem Wafer genau identifiziert werden können. Weitere Merkmale von TENCOR SFS 6420 sind seine leistungsstarke Optik, Hochgeschwindigkeits-Scan-Funktionen und automatisierte Datenerfassung und -analyse. Die Touchscreen-Anzeige ermöglicht es Benutzern, auf die Softwaremenüs für Konfiguration, Inspektion und Datenanalyse zuzugreifen. Die Datenspeicherung ermöglicht es Benutzern, Testergebnisse zu speichern und verschiedene Analysediagramme für ein tieferes Verständnis der Wafergeometrie und -funktionen zu erstellen. SFS 6420 ist eine vielseitige Maschine, die den hohen Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie gerecht wird. Seine fortschrittlichen Technologien bieten eine umfassende Lösung für Wafertests und Messtechnik.