Gebraucht KLA / TENCOR SFS 7600 #293645416 zu verkaufen

ID: 293645416
Weinlese: 1994
Patterned wafer inspection system 1994 vintage.
KLA/TENCOR SFS 7600 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die für die Inspektion und Analyse von Hochleistungswafern entwickelt wurde. Es ist eine skalierbare und modulare Plattform, die eine Reihe von Substraten unterstützt, einschließlich Silizium, Verbundhalbleiter und organische und mit einer breiten Palette von Testkonfigurationen. Das System kann konfiguriert werden, um kritische/Gesamtabmessungen (CD/OD) oder kritische Abmessungen kleine Winkel/CDSA, Multi-die/CDMD und Fehlausrichtung/Overlay zu messen. Das Gerät ist mit fortschrittlicher Optik, hochauflösender Bildanalyse und automatisierten Vision-basierten Testfunktionen ausgestattet, um Fehler mit bis zu 5 nm Auflösung zu erkennen und zu charakterisieren. Neben der Bildgebungs- und Inspektionstechnik integriert es ein umfassendes Spektrum an messtechnischen Werkzeugen, einschließlich vierdimensionaler Laserscanning-Mikroskopie, optischer und rasterelektronenmikroskopischer und allgemeiner optischer Systeme, um die Messung von Kantenauflösung und anderen kritischen Substraten zu ermöglichen. KLA SFS 7600 unterstützt auch umfangreiche Messtechnik auf Waferebene und Testfunktionen, einschließlich Gesamtspannung/-dehnung und elektrische Messung, Bestimmung der optischen kritischen Dimension (OCD) und Messung der thermischen Restspannung. Darüber hinaus bietet es ein fortschrittliches Portfolio an intelligenten Analysetools wie gezielte Probenahme und automatische Mustererkennung sowie eine breite Palette automatisierter Test- und Datenberichtsprozesse, um effiziente und genaue Ergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine ist für den Einsatz in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen konzipiert, von Forschung und Automobil bis hin zur Luft- und Raumfahrt und Unterhaltungselektronik. Es liefert hochwertige Bilder, fortschrittliche Verarbeitung und genaue Daten zur Identifizierung und Charakterisierung von Fehlern, um die Produktqualität, Prozessgleichmäßigkeit und Ertragskontrolle sicherzustellen. TENCOR SFS7600 ist nicht nur hochkonfigurierbar und einfach zu bedienen, sondern integriert sich nahtlos in andere Wafer-Testsysteme und Unternehmenslösungen, um ein umfassendes Datenmanagement und Rückverfolgbarkeit zu ermöglichen.
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