Gebraucht KLA / TENCOR SFX 100 #9249578 zu verkaufen

KLA/TENCOR SFX 100 ist ein Wafertest- und Messtechnik-System, das eine automatisierte Prüfung und Analyse von Substraten und dünnen Schichten ermöglicht. Das System verfügt über zwei Hauptkomponenten: ein Optikmodul für Bildgebung und Filmmesstechnik und ein Elektronikmodul für hochauflösende elektrische Tests. Für die optische Analyse verfügt die KLA SFX 100 über ein frequenzgestimmtes' Weitfeld '-Mikroskop. Dies ermöglicht eine berührungslose, zerstörungsfreie Abbildung großer Waferoberflächen. Es ist in der Lage, verschiedene Parameter wie Topographie und Mikrostruktur zu betrachten. Mit der Zugabe von bestimmten Zubehörteilen kann es Filmdicke und Partikelgröße messen. Das Elektronikmodul besteht aus vier separaten Instrumenten. Dazu gehören ein Laserinterferometer und eine Spannungssonde zur Messung von Hochfrequenzsignalen sowie eine Scannerstufe und ein Druckabtaster zur Messung der lateralen elektrischen Eigenschaften des Substrats über einen bestimmten Bereich. Mit diesem Modul kann der Widerstand des Substrats sowie die Kapazität und der Stromfluss der Vorrichtung gemessen werden. TENCOR SFX 100 bietet eine schnelle, automatisierte Analyse von Gerät, Substrat und Film. Es kann schnell und präzise eine breite Palette von Parametern nur durch die Auswahl von Sonden und Zubehör begrenzt messen. Es eignet sich gut für die schnelle Prüfung von Dünnschichtgeräten und liefert detaillierte Einblicke in die elektrischen, optischen und strukturellen Eigenschaften des Wafers.