Gebraucht KLA / TENCOR SFX 200 #293761849 zu verkaufen

KLA / TENCOR SFX 200
ID: 293761849
Wafergröße: 12"
Thickness measurement system, 12" 2005 vintage.
KLA/TENCOR SFX 200 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein vollautomatisiertes, multifunktionales System, das für die Inspektion, Prüfung und groß angelegte Analyse kleiner und großer Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Das Gerät bietet eine umfassende Palette von Messfunktionen, so dass Benutzer eine Vielzahl von Parametern und Anwendungen auf einem breiten Sortiment von Wafern durchführen können, einschließlich einer Vielzahl von mehrstufigen, eingebetteten Speicherarchitekturen. KLA SFX 200 verwendet eine leistungsstarke 4-Kanal-Farb-CCD-Kamera und einen hochauflösenden großformatigen Farbmonitor, um die dynamischen Vollbild-Bildfunktionen der Maschine in Echtzeit zu unterstützen. Auf diese Weise können Tests und Messungen bis zu einstelligen Mikrometern durchgeführt werden, die detaillierte Inspektionen von Wafern in jeder Komplexität ermöglichen. Neben der CCD-Kamera enthält TENCOR SFX 200 auch eine Reihe von präzisen optischen Komponenten, darunter eine motorisierte, multifits Z-Achse und Autofokus und ausrichtende Subsysteme. Die Z-Achsen-Plattform kann angepasst werden, um Messungen und Inspektionen an verschiedenen Wafergrößen von wenigen Millimetern bis zu zwölf Zoll Durchmesser zu ermöglichen. Die X- und Y-Achsen des SFX 200 können auch so eingestellt werden, dass optimale Waferausrichtungen möglich sind. Das Tool verfügt auch über ausgeklügelte Algorithmen, mit denen Funktionen wie Linienbreite, Zeilenabstand, Fehleranalyse und Impedanz identifiziert und gemessen werden können. Darüber hinaus verfügt KLA/TENCOR SFX 200 über eine Reihe zusätzlicher Makroskript-Tools, die angepasst werden können, um gängige Aufgaben wie Waferausrichtung und Fehleranalyse zu automatisieren. Auf diese Weise können Benutzer ihre Wafer schnell und genau auf Parameter wie Zusammensetzung, Defektivität und Topographie analysieren. KLA SFX 200 unterstützt auch die Integration mit einer Reihe von Wafer-Mapping-Systemen, so dass es in Verbindung mit Photolithographie-Anlagen und anderen Wafer-Verarbeitungssystemen verwendet werden kann. Dies ermöglicht es Anwendern, Testergebnisse aus dem Wafer-Test-Asset schnell und einfach mit Prozessparametern zu korrelieren. Kurz gesagt, TENCOR SFX 200 ist ein leistungsstarkes und präzises Modell, das für schnelle und genaue Tests und Messtechnik auf einer Vielzahl von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Seine Echtzeit-Bildgebungsfunktionen, motorisierte, multifits Z-Achse und anpassbare Skript-Tools machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug für jede Größe Wafer. Mit seiner Integration in eine Reihe von Wafer-Mapping-Systemen und seinen erweiterten Fehleranalysefunktionen ist SFX 200 eine ideale Wahl für die Optimierung von Prozessabläufen in der Halbleiterherstellung.
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