Gebraucht KLA / TENCOR SLF17 #293661244 zu verkaufen
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ID: 293661244
Reticle inspection system
Reticle loading:
SEMI Standard reticle: SLF17HR-Ursa handle
SLF17HR-Ursa automatic loading with SAL
Reticle dimensional:
Sizes: 5", 6", 7"
Front pellicle height: 6.3 mm
Back pellicle height: None
Maximum pellicle dimension: 149.3 mm x 122 mm for 6" W-DUV reticle
Reticle pattern: 7 mm
Internal storage: FAL Magazine
Pixel sizes: 150, 186, 250 nm
Image acquisition:
Wavelength laser: 364 nm
UV Sensors for transmitted and reflected light
Through-the-lens automatic focusing system
Air-bearing reticle stage with laser interferometer
Data automation/Connectivity:
100 BaseT Network connection
Interface with 97i platform SL3UV and (KLA98/99).
KLA/TENCOR SLF17 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell auf die Bedürfnisse der Halbleiterhersteller zugeschnitten ist. Es bietet fortschrittliche Technologie und die Fähigkeit, alle Arten von Wafer-Level-Tests effizient durchzuführen und verschiedene kritische Parameter zu messen, um maximale Chip-Ausbeute und -Qualität zu erreichen. KLA SLF17 ist ein integriertes Messsystem, das eine umfassende Palette automatisierter Test- und Messlösungen bietet. Es basiert auf einer modularen Architektur, die es dem Bediener ermöglicht, das Gerät bei Bedarf um zusätzliche Komponenten zu erweitern. So können Anwender die Maschine an ihre Prozessanforderungen und Produktziele anpassen. Die flexible Architektur von TENCOR SLF17 stellt sicher, dass sie für anspruchsvolle Wafer-Pegelmessungen verwendet werden kann, die für die fortschrittlichsten Halbleiterprozesse von heute unerlässlich sind. SLF17 können mit einer breiten Palette von Test-, Bildgebungs- und Messfunktionen ausgestattet werden. Zu den wichtigsten Testsubsystemen gehören ein elektro-optisches Inspektionsmodul, Die-to-Die Testing und ein Oszilloskop. Das Tool verfügt außerdem über eine automatisierte Wafer-Handhabung und ein Standard-Positionierungssteuerungsmodul sowie eine fortschrittliche Datenerfassungssoftware. Diese Kombination aus Hard- und Software macht KLA/TENCOR SLF17 zu einem idealen Werkzeug für Wafertests mit maximaler Geschwindigkeit und Genauigkeit. Darüber hinaus bietet KLA SLF17 eine Vielzahl von optionalen Funktionen, die das Asset noch leistungsfähiger machen können. Zu den Optionen gehören Wafer-Mapping mit hoher Dichte, Fehlererfassung mit elektrischen Sondierungsmodulen, Bilderzeugungssysteme auf der Matrize, Defektmapping-Engines und Langzeitspeicherlösungen. Diese breite Palette von Funktionen macht TENCOR SLF17 sehr vielseitig und gut geeignet für die Durchführung einer Vielzahl von Wafer-Level-Tests und Messungen. Insgesamt ist SLF17 Wafer Testing and Metrology Model eine zuverlässige und fortschrittliche Messtechnik, die eine Reihe automatisierter Test- und Messfunktionen zur Erzielung der hochwertigsten Halbleiterchips bereitstellen kann. Von der fortschrittlichen Hardware bis zur flexiblen Architektur ist KLA/TENCOR SLF17 eine ideale Wahl für die anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsprozesse von heute.
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