Gebraucht KLA / TENCOR SLF17 #293809082 zu verkaufen

KLA/TENCOR SLF17 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Messung und Analyse von Wafereigenschaften. Es ist ein einheitliches System, das die Fähigkeiten zu einer automatisierten Oblatenuntersuchungsstation mit Metrologieinstrumenten wie optische Mikroskope verbindet, gestalten Scanelektronmikroskope, ellipsometers und Fourier Infrarotspektrometer um. KLA SLF17 verfügt über zwei SmartScan T2000 Advanced Wafer Prober, die eine Reihe von Wafer-Sondierungs- und Testoperationen durchführen können, von der Messung von Kontaktwiderständen bis zur Identifizierung von Shorts und Öffnungen. Die Waferprober sind unterhalb eines geneigten optischen Tisches gelagert, der als Basis für die verschiedenen messtechnischen Instrumente dient. Das Gerät umfasst außerdem eine Sondenausrichtstufe, vier Z-Stufen, eine Fluoreszenzbeleuchtungsmaschine, vier Winkelstufen, vier Temperaturregler und eine CCD-Kamera für die Bildgebung. Die Z-Stufen und Winkelstufen helfen, die messtechnischen Instrumente zur Betrachtung und Abbildung von Proben auf dem Wafer zu positionieren. Jedes Messinstrument ist an einem XYZ-Übersetzungswerkzeug befestigt, um die Positionierung über den Wafer zu ermöglichen. Dieser Vermögenswert ist auch in der Lage, automatisch zwischen Instrumenten zu erkennen und zu wechseln. TENCOR SLF17 enthält auch ein Transportmodell, das einen automatisierten Kassetten-zu-Kassetten-Transfer von Proben zwischen verschiedenen messtechnischen Instrumenten ermöglicht. Eines der Highlights dieser Ausrüstung ist der Hochgeschwindigkeitsbetrieb, wobei jeder Test nur wenige Sekunden dauert. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von messtechnischen Tests durchzuführen, wie optische Bildgebung, AFM (Atomkraftmikroskopie), Raman-Spektroskopie, Ellipsometrie, Ätzratenanalyse und Transmissionselektronenmikroskopie. Darüber hinaus bietet SLF17 verschiedene Datenberechnungsfunktionen, die es Kunden ermöglichen, die messtechnischen Ergebnisse besser zu verstehen. Anhand der Datenberechnungsalgorithmen können Dinge wie CD (critical dimension) und Dotierstoffkonzentrationen analysiert und so wertvolle Einblicke in die Waferprozesse gegeben werden. Das Gerät verfügt auch über eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, ihre Maschine nach ihren spezifischen Prüf- und Messtechnikanforderungen anzupassen. Darüber hinaus bietet die UCK umfangreiche Schulungen und Unterstützung, um sicherzustellen, dass Anwender das Potenzial dieses Wafer-Test- und Messtechnik-Tools maximieren können.