Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9012564 zu verkaufen

KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine umfassende Ausrüstung entwickelt, um die genaueste und höchste Auflösung Maske und Wafer Inspektion zur Verfügung zu stellen. Es umfasst proprietäre Technologien zur Fehlerinspektion innerhalb einer einzigen Plattform und bietet die beste Leistung in seiner Klasse. Das System kombiniert SAQS (Sub-Pixel Accurate Quantum Sensing) mit fortschrittlicher Bildgebungsoptik, um eine beispiellose Genauigkeit bei der Erkennung und Analyse von Defekten auf der Wafer- und Maskenoberfläche zu gewährleisten. Das Gerät nutzt räumlich modulierte Beleuchtungen, parallele Bildverarbeitung und proprietäre Algorithmen, um Fehler auf dem Wafer zu ermitteln, die weniger als 10 Nanometer groß sind. KLA SP1 DLS lokalisiert dann Fehler mit einer Auflösung, die besser als 1 nm ist, und ermöglicht die vollständige Inspektion des gesamten Wafers auf Fehler, die sonst durch herkömmliche Inspektionsmethoden schwer zu erkennen wären. Die Maschine hat auch die Möglichkeit, schnell Wafer/Maske Bilder zwischen verschiedenen Standorten zu teilen, so dass es einfach, Probleme zu diagnostizieren und eine schnellere Reparatur zu ermöglichen. Das Tool ermöglicht es Benutzern auch, eine automatisierte Datenbank zu erstellen, die alle entdeckten Fehler enthält, um die Fehlerdaten effektiv der fab zu präsentieren. Das Asset umfasst auch Inspektions- und Analysesoftware, die eine schnelle Analyse aller Mängel innerhalb der einzelnen Plattform ermöglicht. Die Software ermöglicht es Benutzern, Inspektionsprozesse zu automatisieren, die Eigenschaften des Fehlers zu analysieren und Entscheidungen über weitere Maßnahmen zu treffen. Zusätzlich zu den scharfen Details des Inspektionsmodells hat TENCOR SP 1-DLS die Möglichkeit, zerstörungsfreie Inspektionen durchzuführen, sodass Benutzer wiederholte Wafer- und Maskeninspektionen durchführen können, ohne die Wafer- oder Maskenoberfläche zu beschädigen. Schließlich ist SP 1-DLS auch für die Integration mit anderen UCK-Systemen für eine nahtlose Inspektion und Reparatur-Erfahrung konzipiert.