Gebraucht KLA / TENCOR SP1-DLS #9256586 zu verkaufen

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ID: 9256586
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Unpatterned surface inspection system, 12" With (2) ASYST IsoPorts Edge handling Loader type: Dual FIMS, 12" BSIM (Flipper and ECWA) Robot BF Laser 2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS ist eine innovative Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die eine verbesserte Auflösung, einen erhöhten Durchsatz und eine überlegene Fehlererkennung und -analyse für die Halbleiterindustrie ermöglicht. Das neue System hilft Kunden, wettbewerbsfähig zu bleiben, indem es schnellere Time-to-Market bietet und effizientere Abläufe ermöglicht. KLA SP1 DLS ist ein zweiseitiges Wafer- und Maskenprüfwerkzeug. Es bietet erstklassige, 5fache Auflösungs-Bildgebung, Hochgeschwindigkeitsdurchsatz und proprietäre zonenbasierte Analysetechnologie. Das Gerät ermöglicht es Kunden, Fehler auf dem Gerät oder Maskenstufen mit 4-nm-Auflösung sowohl im Hellfeld- als auch im Dunkelfeldbildmodus schnell und genau zu erkennen. TENCOR SP 1-DLS besteht aus zwei Hauptelementen: einer mehrköpfigen optischen Maschine und ihrem proprietären Real Time Iterative Review (RITR) -Algorithmus. Das optische Werkzeug besteht aus 13 unabhängig beweglichen Detektorköpfen mit einzigartigen Optik- und Sensorentwürfen, um die genauesten Daten in kürzester Zeit zu erfassen. Es enthält auch optische Elemente und hochauflösende Kameras mit einem breiten Sichtfeld, um sehr kleine Defekte zu erkennen. Inzwischen bietet der RITR-Algorithmus Kunden revolutionäre Genauigkeit und Durchsatz. Dieser Algorithmus integriert Fehlererkennung, Klassifizierung und Analyse in einen gleichzeitigen Zwei-Wege-Prozess und hilft Kunden, selbst die schwierigsten Fehler zu erkennen. Darüber hinaus ist SP1 DLS das einzige doppelseitige Asset mit erweiterten Defect Review Iterations, einer neuen Technologie, die die Fehlerüberprüfung auf die nächste Stufe hebt. Der User kann schnell mehrere Parametersätze auf dieselbe Probe anwenden, was die Diagnose und Behebung von Fehlern in einem Bruchteil der Zeit erleichtert. Dieses Modell umfasst auch Bildverbesserungs- und Data-Mining-Funktionen, wodurch Kunden einen unschätzbaren Einblick in die allgemeine strukturelle Integrität ihrer Designs erhalten. Insgesamt ist TENCOR SP 1 DLS eine leistungsfähige und zuverlässige Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die Kunden dabei hilft, Zeit und Geld zu sparen, wettbewerbsfähig zu bleiben und eine überlegene Fehlererkennung und -analyse zu genießen. Es bietet hochwertige Bildgebung und Hochgeschwindigkeitsdurchsatz für schnellere Time-to-Market, und seine fortschrittlichen Technologien gewährleisten die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der resultierenden Ergebnisse.
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