Gebraucht KLA / TENCOR Spectra FX 100 #9257025 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9257025
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Thickness measurement system, 12"
EFEM
UI
(2) SEMES Tool buffers
Operating system: Windows XP
(2) BROOKS ISO Load ports
PRI Transfer robot arm
SMIF / FOUP
Missing parts:
Fine focus board
Tilt board
MCB Board
Stage chuck
Monitor
Focus flipper
UV Filter
PC
CPU Board
Frame board
Hard Disk Drive (HDD)
Power: 208 V, Single phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für höchste Leistung und Zuverlässigkeit in der Halbleiterindustrie. Mit seinen fortschrittlichen messtechnischen Fähigkeiten bietet es die genauesten und präzisesten Messungen einer Vielzahl von Waferfunktionen. Es dient der Prozessoptimierung und der Losannahme und stellt sicher, dass die höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards während des gesamten Fertigungsprozesses erfüllt werden. KLA Spectra FX 100 ist mit einer ganzen Reihe von Test- und Messfähigkeiten ausgestattet, einschließlich Prozesscharakterisierung, Fehlerinspektion, Filmdickenmessungen, Überlagerungsmessungen und Fehlerüberprüfung. Es ist in der Lage, Funktionen mit Nanometerauflösung zu testen und zu messen, was es zum fortschrittlichsten System seiner Klasse macht. Es ist auch so konzipiert, dass der Benutzer benutzerdefinierte Messoperationen und Lösungen erstellen kann, sodass es an fast jeden Prozess anpassbar ist. TENCOR SPECTRA FX100 wurde mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen entwickelt, die es zum idealen Werkzeug für Hochleistungsprozesse machen, einschließlich einer hoch kalibrierten fortgeschrittenen Flugerkennungseinheit und einer hochpräzisen Laser-Vision-Maschine. Das fortschrittliche Flugerkennungswerkzeug wurde entwickelt, um selbst kleinste Wafer-Merkmale genau und schnell zu erkennen und genau zu messen. Das Laser Vision Asset wurde entwickelt, um Wafer in drei oder sechs Freiheitsgraden zu inspizieren und kann selbst die anspruchsvollsten Geometrien genau messen. KLA SPECTRA FX100 ist auf Zuverlässigkeit und Genauigkeit ausgelegt, mit robuster Hard- und Software und einem strengen Kalibrierungsprozess, der sicherstellt, dass alle Messungen innerhalb der Spezifikationen liegen. Es enthält auch einen leistungsfähigen integrierten Computer für Datenanalysen, mit dem Benutzer Prozesse schnell analysieren, vergleichen und feinabstimmen können. Zusätzlich gewährleistet ein geschlossenes Metrologiemodell wiederholbare Genauigkeit und Qualität. Die Ausstattung ist zudem äußerst benutzerfreundlich und einfach einzurichten, zu bedienen und zu warten. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR SPECTRA FX100 ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das auf höchste Genauigkeit und Präzision ausgelegt ist. Es ist in der Lage, Funktionen mit Nanometerauflösung zu testen und zu messen und ist mit fortschrittlichen Funktionen wie einer hoch kalibrierten fortgeschrittenen Flugerkennungseinheit und einer hochpräzisen Laser-Vision-Maschine ausgestattet. Das Tool ist auch für Zuverlässigkeit und Genauigkeit gebaut, mit robuster Hardware und Software, einem strengen Kalibrierungsprozess und einem leistungsfähigen Bordcomputer für die Datenanalyse. Darüber hinaus ist die Anlage extrem benutzerfreundlich, einfach einzurichten, zu bedienen und zu warten, so dass sie das ideale Werkzeug für Hochleistungsprozesse ist.
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