Gebraucht KLA / TENCOR Spectra FX 200 #293712932 zu verkaufen
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ID: 293712932
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Thickness measurement system, 8"
Upgraded from F5X
Single open handler
BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-212B-S293 Controller
Signal tower
XENON Arch Lamp source
Options:
SE
DBS
GEM / SECS and HSMS
Operating system: Windows XP
Power supply: 220 V, Single phase, 3 Wire, 15 A, 50/60 Hz
2000 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die Ausbeute und Zuverlässigkeit von führenden Kanten-Halbleiterbauelementen zu verbessern. Es kombiniert mehrere fortschrittliche Technologien, um eine umfassende Lösung für die Halbleiterherstellung bereitzustellen, einschließlich optischer Messtechnik, Fehlerbildgebung und elektrischer Inline-Tests. KLA Spectra FX 200 ist eine flexible und skalierbare Plattform, die effiziente und genaue Tests für eine breite Palette von Geräten ermöglicht. Das System nutzt eine einzigartige Kombination aus Strahlabfang und fortschrittlichen Algorithmen, um Querschnittsflächen sowie Schnittstellenfehler bei Produktionsgeschwindigkeiten exakt abzubilden. Es enthält auch integrierte elektrische Inline-Testfähigkeit, die Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll testen kann. Dies macht das Gerät ideal für Wafer-Tests und messtechnische Aufgaben, bei hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit. Neben der optischen Messtechnik bietet TENCOR Spectra FX 200 auch eine leistungsstarke Defektinspektionsmaschine. Das eingebaute Smart Defect Imaging Modul verwendet mehrere Präzisionskameras und eine leichte Engine, um Defekte bis zu einer Tiefe von bis zu 8 Mikrometern mit einer hohen Genauigkeit zu untersuchen und zu analysieren. Dies ermöglicht eine schnelle Erkennung potentieller ertragsbegrenzender Defekte. Spectra FX 200 verfügt auch über erweiterte Fehlererkennungsfunktionen. Die Algorithmen des Tools sollen Fehler so identifizieren und kategorisieren, dass falsche positive Effekte minimiert und eine optimale Ausbeute gewährleistet wird. Dadurch wird sichergestellt, dass nur die materiellen Mängel identifiziert werden, so dass die Nutzer die geeigneten Maßnahmen ergreifen können, um sie zu beheben. Die Leistung von KLA/TENCOR Spectra FX 200 wird durch eine integrierte Benutzeroberfläche unterstützt. Diese grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es Benutzern, Testergebnisse von jedem Punkt im Testprozess aus schnell abzurufen, anzuzeigen und zu analysieren. Dies macht die Informationen leicht zugänglich und ermöglicht eine höhere Genauigkeit und Effizienz. KLA Spectra FX 200 ist ein leistungsfähiges und vielseitiges Gerät für Wafertests und Messtechnik. Es bietet eine einzigartige Kombination aus fortschrittlichen Technologien und einem umfassenden Funktionsumfang und bietet Anwendern eine effiziente, zuverlässige und genaue Lösung für die Produktion von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen.
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