Gebraucht KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9375219 zu verkaufen

KLA/TENCOR Spectra FX 200 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es wurde entwickelt, um Informationen über eine Vielzahl von physikalischen und optischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben sowie andere vorhandene Bauelementstrukturen zu messen und zu sammeln. Dieses System verwendet KLA proprietäre 3D-Scan-Technologie, um Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200mm genau zu scannen. Die beiden integrierten Sensoren - ein linearer Array-Detektor und ein doppelter Reflexionsdetektor - ermöglichen eine vollständige und verbesserte Messtechnik von Oberflächen und Merkmalen auf dem Wafer. KLA Spectra FX 200 bietet eine breite Palette von Funktionen und Funktionen. Es verfügt über ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Genauigkeit (bis zu 0,5 Mikrometer), ist in der Lage, Daten von Wafern bei hoher und niedriger Beleuchtung zu erfassen, und bietet mehrere Scan-Modi, die Tests einer Vielzahl von Wafergrößen ermöglichen. Das Gerät ist so konzipiert, dass es kosten- und zeiteffizient ist und eine Präzisionsstufe verwendet, die die Durchsatzgeschwindigkeit erhöht und die Vibrationen minimiert. TENCOR nutzerfreundliche Software bietet eine Reihe von Funktionen und Vorteilen, wie automatische Ausrichtung und Verfolgung, automatisierte Scan-/Mess-/Berichtsausführung und Hardware-/Softwareintegration. Für eine verbesserte Bildqualität verfügt TENCOR Spectra FX 200 über eine innovative Fokussiermaschine namens Auto-Focus Tool (AFS), die eine Feedback-Schleife verwendet, um den Fokus des Instruments automatisch anzupassen und eine hohe Präzision und Genauigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten. Spectra FX 200 bietet auch nützliche Tools für die Datenerfassung und -analyse. Die Daten werden in Echtzeit gesammelt und automatisch zur zukünftigen Referenzierung oder Verarbeitung gespeichert. Import/Export-Funktionen sind ebenfalls verfügbar. Die Anlage kann mit einer Vielzahl von Peripheriegeräten wie Kameras, Lasern und Mikroskopen integriert werden. Insgesamt ist KLA/TENCOR Spectra FX 200 ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Seine proprietäre Scanausrüstung und Funktionen wie AFS und Datenanalyse-Tools machen es zu einem leistungsfähigen Werkzeug, das bei der Entwicklung und Verfeinerung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen helfen kann.