Gebraucht KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #9223300 zu verkaufen

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ID: 9223300
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2017
Optical review system, 12" (3) Loaders (Auto) Operating system: Microsoft Windows XP Handler unit Metrology unit Power: 208 AC, 2 Phase 2017 vintage.
KLA/TENCOR SpectraShape 8660 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Messung der elektrischen, optischen und mechanischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Es ist in der Lage, Halbleiterscheiben bis zu einem Durchmesser von 8 Zoll genau zu messen und bietet ein zuverlässiges, wiederholbares und kostengünstiges Mittel zur Bestimmung der Qualität eines Wafers. Der 8660 nutzt eine einzigartige Multi-Sensor-Technologie, um Daten von Halbleiterscheiben zu sammeln. Das System besteht aus einer Sonde, einem Optikkopf und einer integrierten elektrischen Testelektronik. Die Sonde besteht aus einem pyramidenförmigen Sondenarray, das bis zu 8 Stellen auf dem Wafer gleichzeitig kontaktieren kann und manuell oder automatisiert eingesetzt werden kann. Die Sonde kann elektrische Widerstands- und Kapazitätsänderungen erfassen sowie eine zweidimensionale Abbildung der Waferoberfläche ermöglichen. Der Optikkopf bietet optische Mikroskopie, die hochauflösende Bilder liefern kann, um Oberflächendefekte, Verunreinigungen oder physikalische charakteristische Veränderungen zu erkennen. Die integrierte Testelektronik übernimmt die Messung elektrischer Halbleiterparameter wie Trägerbeweglichkeit, elektrische Eigenschaften und Defektivität. Darüber hinaus bietet KLA SpectraShape 8660 umfangreiche Datenanalysefunktionen, die Wafer-zu-Wafer-Vergleich, Mustererkennung und Fehleranalyse ermöglichen. Die erweiterbare Integrationsschicht des 8660 ermöglicht es Kunden, zusätzliche Testprozesse in das Gerät zu integrieren, wie Visual Defect Inspection, Photomask Inspection und automatisierte ITO/ICP-Tests. TENCOR SpectraShape 8660 ist mit seiner einzigartigen Multi-Sensor-Technologie und seinen erweiterten Datenanalysefähigkeiten die ideale Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine für Halbleiter-Wafer-Produktionsanlagen. Es bietet umfassende Wafer-Tests und Messtechnik, um die Produktqualität zu gewährleisten und Risiken kostengünstig zu reduzieren.
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