Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan AIT #293750395 zu verkaufen

ID: 293750395
Weinlese: 1999
Defect inspection system, 8" 1999 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan AIT ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die es Halbleiterherstellern ermöglicht, die Eigenschaften ihrer Wafer und Strukturen schnell und genau zu testen und zu messen. Die Hauptkomponenten dieses Systems sind ein optisches Mikroskop, eine CCD-Kamera, eine Vielzahl von Hardware- und Softwaremodulen und ein Prozessparameter-Controller. Das optische Mikroskop verfügt über eine erweiterte optische Zoomfunktion und eine rekonfigurierbare Beleuchtungseinheit zur Betrachtung mikroskopischer Merkmale auf den Wafern. Mit der CCD-Kamera können hochauflösende Bilder des zu inspizierenden Wafers und der zu inspizierenden Strukturen aufgenommen werden. Diese Maschine umfasst auch verschiedene Hardware-Module, darunter ein integriertes Messtechnik-Tool zur Messung von Abmessungen in verschiedenen Maßstäben und ein Lithographie-Asset zur Strukturierung von Wafern während des Herstellungsprozesses. In Bezug auf Software umfasst KLA Surfscan AIT eine Vielzahl von Anwendungen, die zum Sammeln, Analysieren und Anzeigen von Daten entwickelt wurden. TENCOR Surfscan AIT kann verwendet werden, um die Integrität von Mikrochip-Wafern zu beurteilen, den Widerstand zu messen, Kontaminationen zu erkennen und Variationen von Strukturen und Merkmalen kritischer Dimension (CD) zu messen. Surfscan AIT verfügt auch über Fähigkeiten zur Erkennung von Defekten und zur schnellen Sortierung und Qualifizierung. Der integrierte Prozessparameter-Controller ermöglicht die Echtzeitsteuerung des Prozesses und der Betriebsparameter. Darüber hinaus umfasst KLA/TENCOR Surfscan AIT erweiterte Funktionen zur Datenerfassung, -analyse und -berichterstattung. Dieses Modell verwendet eine Vielzahl von Datenerfassungsmethoden, einschließlich automatisierter visueller Inspektion, komplexer Datenanalyse und softwaredefinierter Metriken, um die aus jedem Test und jeder Messung gewonnenen Daten zu erfassen und zu analysieren. Diese Daten werden dann zu Berichten zusammengestellt, mit denen Hersteller die Leistung ihrer Wafer und Strukturen beurteilen können. KLA Surfscan AIT ist für den Einsatz in Serienanlagen für die Halbleiterherstellung konzipiert. Seine leistungsstarke Kombination aus Hard- und Softwaremodulen sowie seine Fähigkeit, Wafer und Strukturen schnell und genau zu testen und zu messen, machen es zu einer idealen Wahl für Wafertests und Messtechnik.
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