Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan AIT #9155784 zu verkaufen

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ID: 9155784
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1997
Patterned wafer inspection system, 6"-8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan AIT ist eine führende Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für Wafer-Inspektions- und Messtechnik mit hoher Geschwindigkeit und hohem Durchsatz. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von einfachen Fehlerprüfungen bis hin zu komplexen Prozessleitsystemen. Das System umfasst mehrere Komponenten, darunter eine erweiterte Hardwareeinheit, eine integrierte Softwaremaschine und optionales Zubehör. Die Hardwarekomponente umfasst eine Beleuchtungseinrichtung, eine Objektivlinse und eine Detektoranordnung, mit der Bilder des Wafers zur Fehlererkennung, Messtechnik und anderen Inspektionen erfasst werden. Die Detektoranordnung besteht je nach Anwendung aus einem Hochgeschwindigkeits-CCD oder einem hochempfindlichen CCD. Das Software-Tool umfasst eine leistungsstarke und intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) und eine breite Palette von automatisierten Fehlerinspektionsalgorithmen zur Inspektion einer Vielzahl von Waferdefekten. Die GUI wurde entwickelt, um eine benutzerfreundliche Bedienung für eine optimale Fehlererkennung zu ermöglichen. Das Software-Asset bietet auch Unterstützung für fortgeschrittene Wirbelstrom-Bildgebung sowie leistungsfähige Statistische Prozesssteuerung (SPC) und Messprozess-Charakterisierung (MPC) Funktionen für verbesserte messtechnische Leistung. Das KLA Surfscan AIT-Modell verfügt über mehrere Betriebsmerkmale, die ihm gegenüber anderen Waferinspektions- und Messtechnik-Systemen deutliche Vorteile verschaffen. Es bietet einen extrem hohen Durchsatz von bis zu 300mm Wafern pro Stunde und kann schnell neu konfiguriert werden, um sich an sich ändernde Prozessanforderungen anzupassen. Es ermöglicht auch hochpräzise Messungen mit besonderem Fokus auf gemusterte Wafer, 3D-Strukturen und integrierte Schaltungen. Die Geräte koppeln das hochentwickelte und präzise Hardware- und Softwarepaket mit industrieller Benutzerfreundlichkeit für schnelle, genaue und kostengünstige Wafertests. Es bietet simultane Inline-Messtechnik und Fehlerinspektion über mehrere Anwendungsknoten, um eine umfassende Inspektionsabdeckung und Echtzeit-Prozessoptimierung zu erreichen. Darüber hinaus macht die Kompatibilität mit gängigen Automatisierungssoftware Semi-AUTOgonous FABrication (SAF) Systeme die Verwendung von TENCOR Surfscan AIT System noch attraktiver. Surfscan AIT Unit ist eine umfassende, kostengünstige Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung, die die Geschwindigkeit und Genauigkeit bietet, die erforderlich ist, um die Komplexität der modernen Waferproduktion zu überwinden. Die fortschrittlichen Hardware- und Softwarefunktionen gewährleisten präzise und zuverlässige Ergebnisse und sind somit eine ideale Wahl für kritische Prozesskontroll- und Überwachungsaufgaben.
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