Gebraucht KLA / TENCOR Surfscan AIT #9204828 zu verkaufen

KLA/TENCOR Surfscan AIT ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Inspektion und Messtechnik von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Das System nutzt eine Kombination aus optischen und Röntgentechniken, um eine umfassende und leistungsstarke Charakterisierung von Waferoberflächen zu ermöglichen. Kernkomponente der KLA Surfscan AIT ist eine Inspektionskammer, in der die Optik, transmissive Probenstufen und der Kollisionsschutz untergebracht sind. Diese Kammer ist eine Vakuumumgebung und die Optik ist in einem codierten Abtastmuster angeordnet, das den gesamten Wafer abdeckt. Das Gerät ist in der Lage, eine Vielzahl von Proben in Position zu bringen, sie in die erforderliche Orientierung zu drehen und die Oberflächenreflektivität und Topographie zu messen. TENCOR Surfscan AIT hat die Fähigkeit, verschiedene Arten von Waferdefekten zu erkennen, wie Partikelverunreinigungen, Kratzer und Kristallmusterdefekte. Die Maschine kann sowohl Raum- als auch Forminformationen über die Defekte liefern, um deren Lage genau zu bestimmen. Zusätzlich kann das Werkzeug zur Oberflächenmessung verwendet werden, bei der Oberflächeneigenschaften wie Rauhigkeit, Kratztiefe und Höhe gemessen werden. Um eine detailliertere Analyse zu ermöglichen, bietet Surfscan AIT Wafer-Messtechnik an. Dies wird durch die Kombination der optischen und Röntgenkomponenten des Asset erreicht, um Merkmale wie die Größe und Platzierung der Funktionen genau zu messen. Dies geschieht mit den fortschrittlichen Bildgebungsalgorithmen und der Rechenleistung des Modells. KLA/TENCOR Surfscan AIT-Geräte sind robust und zuverlässig und können für eine Vielzahl von Wafer-Tests und messtechnischen Anwendungen verwendet werden. Beispielsweise kann das System bei der Qualifizierung neuer Materialien, bei der Beurteilung der Prozessleistung oder bei der Fehleranalyse eingesetzt werden. Das Gerät ist auch in der Lage, Daten mit höheren Geschwindigkeiten zu sammeln, so dass eine breite Palette von Wafern in kurzer Zeit überprüft werden kann. Insgesamt ist KLA Surfscan AIT ein unschätzbares Werkzeug für Wafertests und Messtechnik, das es einfacher und effizienter denn je macht, die Oberflächen von Halbleiterscheiben zu charakterisieren.