Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 45-014824 #293672012 zu verkaufen

ID: 293672012
Robot for TP 500.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 45-014824 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist für schnelle und genaue Wafermessung ausgelegt. Es verfügt über ein automatisiertes, robustes System, das Wafer schnell und bequem nach kritischen Abmessungen, Mustergeometrien, Kantenparametern und Schritten scannt. Diese Einheit hat die Fähigkeit, flache Wafer sowie Kurven und erhöhte Höcker zu messen. KLA 45-014824 Maschine bietet ein umfassendes Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von verschiedenen Eigenschaften auf Halbleiterscheiben genau zu messen. Es verwendet eine Graustufenkamera, um zweidimensionale (2D) Interferenzbilder aufzunehmen, die dann zur Messung kritischer Dimensionsparameter (CD) verwendet werden. Es verwendet auch eine Laser-Muster-Erkennungskomponente, um Groove-Parameter zu identifizieren und zu messen. Das Modell kann auch Schritthöhen messen. Das Gerät ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und verschiedenen Anzeigeoptionen ausgestattet, um Komfort und Zuverlässigkeit bei der Messung zu bieten. Darüber hinaus bietet das System Datenanalyse-Funktionen, wie CD-statistische Analyse. Es kommt auch integral auf einer Vier-Achsen-Wafer-Bühne montiert, so dass automatisierte Schritte während der Messung. TENCOR 45-014824 ist für schnelle und zuverlässige Messungen mit überlappenden Sichtfeldern für gleichzeitige Messungen von mehreren Spitzen ausgelegt. Seine dynamische Interaktionskontrolltechnologie eliminiert Vibrationen und Umweltdrift und unterstützt bei durchweg zuverlässigen Messungen von Wafer zu Wafer. Das Gerät verwendet eine Hochspannungs-FEE-Schaltung, die für wiederholbare CD-Messungen unabhängig von kleinen Musterschwankungen sorgt. Die Maschine ist mit verschiedenen Funktionen ausgestattet, um genaue Messungen zu gewährleisten, wie z. B. einen Wiederholbarkeitsmonitor mit einer Rückkopplung. Automatisierte Routinen werden bereitgestellt, um Wafer schnell und bequem zu messen, und eine Rezeptbibliothek ist für die Erstellung benutzerdefinierter Messskripte enthalten. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine offene Architektur, so dass es in verschiedene Messtechnik-Tools zur Merkmalserkennung und Datenintegration integriert werden kann. Insgesamt ist THERMA-WAVE 45-014824 eine fortschrittliche Anlage für Wafertests und Messtechnik, die zur effizienten Messung von Wafern für mehrere Parameter und Funktionen entwickelt wurde. Das Modell bietet branchenführende Leistung, Durchsatz und Genauigkeit und ist einfach in andere Messtechnik-Tools integriert. Es ist die perfekte Wahl für Wafer Inspektion und Tests in fortgeschrittenen Halbleiterherstellung und Produktionsanwendungen.
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