Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 5220Xp #293656107 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 5220Xp ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die leistungsstarke optische, mechanische und elektrische Testfunktionen für die fortschrittliche Waferanalyse kombiniert. Zu den Hauptkomponenten des Systems gehören ein Inspektionsmikroskop, mehrachsige Nanopositionierer, ein Mikroschmiede-Modul und ein Temperaturabbildungsmodul. Das Mikroskop bietet Inspektions- und Messtechnik-Möglichkeiten, die eine automatisierte Beobachtung und Messung von Gerätestrukturen ermöglichen. Die mehrachsigen Nanopositionierer ermöglichen eine genaue Positionierung der Sonden während der elektrischen Prüfung. Das Mikroschmiede-Modul ermöglicht eine präzise Einstellung der Geräte während des Herstellungsprozesses. Das Temperaturabbildungsmodul bietet die Möglichkeit, genaue Temperaturmessungen von Geräten über einen Bereich von Temperaturen zu nehmen. KLA 5220Xp unit verwendet eine dreifache Detektions-Bildgebungsmaschine, die hochauflösende Bilder über eine Vielzahl von Feldwinkeln und Vergrößerungen liefert. Dies geschieht durch den Einsatz eines hochauflösenden Objektivs, einer CCD-Kamera und eines CCD-Detektors. Das Dreifach-Erkennungswerkzeug ermöglicht eine präzise Ausrichtung der Teststrukturen und gewährleistet präzise Ergebnisse und genaue Messungen. TENCOR 5220Xp verwendet ein Automatisierungs-Asset für die Zuordnung und Ausrichtung von Wafern. Das Stufenautomatisierungsmodell verwendet einen Linearmotor, um die mit Diamanten gekippten Tastköpfe genau zu bewegen, zusammen mit einer hochpräzisen Drehstufe zur genauen Positionierung von Teststrukturen. Das Gerät verwendet außerdem ein hochmodernes, schnelles Scan-Dual-Lasersystem, um eine hochauflösende thermische Abbildung von Teststrukturen zu ermöglichen. Dies ermöglicht eine schnelle Erkennung und genaue Quantifizierung von thermischen Effekten, die eine präzise Steuerung der Bearbeitungsumgebung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ausgeklügelte in situ elektrische Testfunktionen. Dazu gehört die Fähigkeit, physikalische Parameter wie Widerstand, Kapazität, Induktivität und Frequenzgang schnell und genau zu messen. Die Maschine enthält auch On-Chip-Testfunktionen für die Prüfung auf Waferebene. 5220Xp Werkzeug wurde entwickelt, um Herstellern den Vorteil beispielloser Präzision und Genauigkeit für ihre Wafertests, Messtechnik und Inspektionen zu bieten. Es nutzt bewährte optische, mechanische und elektrische Testfunktionen und modernste Temperaturabbildungen und in situ elektrische Testfunktionen, um sicherzustellen, dass Hersteller genaue und präzise Messungen durchführen können. Damit können die Hersteller sicher sein, dass die erhaltenen Testergebnisse zuverlässig und von höchster Qualität sind.