Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9240151 zu verkaufen
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ID: 9240151
Weinlese: 2006
Thickness measurement system
Module: User interface
Missing PC
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200 ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für maximalen Durchsatz und Genauigkeit in einer Vielzahl von Halbleiter-Wafer-Herstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche System integriert vier ausgeklügelte Löttechnologien in einer: berührungslose optische, kontaktoptische, Widerstandsfähigkeit und Shearforce, die jeweils wesentliche Daten über den Wafer sammeln können. KLA FX 200 verwendet moderne bildgebende und optische Systeme, Thermoelemente, digitale CCD/CMOS-Kameras (ladungsgekoppelte Bauelemente oder komplementäre Metalloxid-Halbleiterkameras) und fortschrittliche Optik zur optimalen Analyse von Halbleiterwafern. TENCOR FX 200 erfordert spezielle Software, um bestimmte Schritte zu betreiben und zu programmieren, z. B. die Erfassung, Anzeige und Protokollierung der Ergebnisse jedes Wafer-Scans. Die Software nutzt eine grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Navigation und Interpretation der Daten ermöglicht. Dieses Gerät bietet auch erweiterte Protokollbuchfunktionen mit vollständigen Aufzeichnungsfunktionen. Die integrierte Thermoelement-Messmaschine ermöglicht eine sichere Verarbeitung von Wafern bei gleichzeitig hoher Temperatursteuerung. FX 200 verwendet mehrere fortschrittliche optische Technologien, um eine genaue und präzise Inspektion zu gewährleisten. Dazu gehört ein berührungsloses optisches Werkzeug zur großflächigen Analyse des gesamten Wafers; ein optisches Kontaktelement zum Abbilden von Punktfehlern; und Shearforce-Bildgebung für detaillierte Unterflächendaten. Darüber hinaus verfügt dieses Modell auch über einen Widerstandsmesser, um den Widerstand und die Lebensdauer zu messen. THERMA-WAVE FX 200 Geräte bieten eine Reihe weiterer Funktionen, um höchste Genauigkeit zu gewährleisten, wie automatische Fehlerabbildung, dynamische Merkmalserkennung und automatisierte Benchmarking-Funktionen. Es umfasst auch ein integriertes benutzerdefiniertes Qualitätskontrollsystem, um die Datengenauigkeit zu überprüfen und die Waferqualität sicherzustellen. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200 in der Lage, on-the-fly Videomessungen durchzuführen, um digitale Videos der Waferoberfläche und des Herstellungsprozesses zu erstellen. Insgesamt ist KLA FX 200 eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnikeinheit, die entwickelt wurde, um Ausbeute, Durchsatz und Genauigkeit in Halbleiterherstellungsprozessen zu optimieren. Diese umfassende Maschine verfügt über leistungsstarke integrierte Technologien und Software, um eine anspruchsvolle Inspektion und Qualitätskontrolle zu gewährleisten.
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