Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE J-109 #9209398 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE J-109 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für schnelle und präzise Messungen sowohl elektrischer als auch physikalischer Eigenschaften von Halbleiterchips konzipiert ist. Das System basiert auf der patentierten KLA-Produktlinie Tensor und der TENCOR Off-Axis Ion Beam Etch (OAIBE) Technologie. Das Gerät hat die Fähigkeit, Wafer bis zu 200mm Größe zu überprüfen und elektrische Parameter wie Widerstand und Kapazität mit bis zu 10nm Auflösung zu messen. Die OAIBE-Fähigkeit der Maschine ermöglicht es, Wafer mit Gräben und Vias zu analysieren und Tiefen bis zu 10nm zu messen. Für physikalische Eigenschaften ist KLA J-109 in der Lage, kritische Abmessungen wie Linienbreite, Gatelänge und Kontaktgröße mit 100nm Auflösung zu messen. Die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen des TENCOR J-109 wird durch seine erweiterten Hardwarefunktionen wie das 8-nm-Laserinterferometer und die 14-Bit-CCD-Kamera sowie erweiterte Funktionen wie Strahlverformungskompensation und Mehrachs-Scanning ermöglicht. Die Kombination dieser Merkmale sorgt für hochpräzise, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Das Tool wurde entwickelt, um Bedien- und Wartungspersonal Benutzerfreundlichkeit zu bieten. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche bietet Zugriff auf eine Reihe nützlicher Funktionen wie Rezept-Assistenten, Rezeptfreigabe und Parameteroptimierung. Wartungspersonal hat Zugriff auf eine Reihe von Tools wie ein webbasiertes Wartungsportal, ein Fernwartungsportal und eine Techniker-Toolbox. J-109 ist ein vielseitiges Asset, das für eine breite Palette von Anwendungen in der Waferinspektion und Messtechnik entwickelt wurde. Es kann in der Forschung und Entwicklung neuer Prozesse, der Überwachung von Produktionsprozessen und der Erkennung und Isolierung von defekten Produkten eingesetzt werden. Die große Kapazität (bis zu 200mm Wafer) und die hohe Auflösung (bis zu 10nm) Fähigkeiten des Modells ermöglichen den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen wie IC-Herstellung, Verpackung und Test, Leiterplatte und Waferdruck. Insgesamt ist THERMA-WAVE J-109 eine hochentwickelte, aber benutzerfreundliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für schnelle und präzise Messungen sowohl elektrischer als auch physikalischer Eigenschaften von Halbleiterchips entwickelt wurde. Seine große Kapazität (bis zu 200mm Wafer), seine hohe Auflösung (bis zu 10nm) und seine erweiterten Hardware- und Softwarefunktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Waferinspektions- und messtechnischen Anwendungen.