Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9214770 zu verkaufen

ID: 9214770
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Film thickness measurement system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die kritische Messungen an Halbleiterbauelementen ermöglicht. Dieses hochpräzise System dient der Erforschung und Entwicklung von Chips und integrierten Schaltungen der nächsten Generation. Es verwendet zwei Optiken zur Messung von Wafern, darunter ein automatisiertes optisches Rastermikroskop (ASOM) und ein Weißlicht-Interferometer (WLI). Das ASOM ist in der Lage, sowohl 2D-Konturbilder als auch 3D-Topographiekarten der Oberfläche eines Halbleiterbauelements zu erzeugen. Es hat eine hohe Auflösung von bis zu 1 nm, kann aber auch Merkmale mit vertikalen Höhen von bis zu 10 nm unterscheiden, was eine hohe Präzision und Genauigkeit ermöglicht. Das WLI ist eine bildgebende Technologie, die auf Interferenz von reflektiertem Licht angewiesen ist, um eine 3D-Karte einer Oberfläche zu erstellen. Es ist auch in der Lage, die dreidimensionalen Formen von Mikromerkmalen und Oberflächenrauhigkeiten aufzudecken, die unter einem optischen Mikroskop nicht zu sehen sind. Der WLI hat eine Auflösung von 40nm und kann zur Messung der Rauhigkeit zwischen 0.2nm-2.0nm verwendet werden. Die KLA OP 2600 wird von dem Programm ProgRScan angetrieben, einem speziell für die Wafer- und Geräteforschung entwickelten Softwarepaket. Es ist in der Lage, ASOM und WLI zu steuern und zu synchronisieren, und integriert mehrere Funktionen wie Merkmalserkennung, Parametermessung und Datenanalyse. Es ermöglicht auch verschiedene Analysemethoden wie Regressionsanalyse, Histogrammanalyse und Hauptkomponentenanalyse. Diese Software ist benutzerfreundlich gestaltet und ermöglicht den einfachen Export von Ergebnissen für andere Prozesse in der Produktionslinie des Herstellers. TENCOR OP 2600 Einheit ist auch vollautomatisiert, ermöglicht eine erheblich erhöhte Testdurchsatz und liefert auch wiederholbare Ergebnisse mit minimalem Aufwand vom Benutzer. Die automatisierten Prozesse mit dieser Maschine helfen auch, Fehler im Zusammenhang mit manuellen Prozessen zu reduzieren. Darüber hinaus ist es in der Lage, Umsatzzeiten und Betriebskosten wie Geräteentwicklung und Produktionsprüfung deutlich zu reduzieren. Insgesamt bietet das THERMA-WAVE OP 2600 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool hochpräzise Messungen für die Geräte- und Halbleiterforschung und -entwicklung. Es ist in der Lage, Wafer mit einer sehr hohen Auflösung zuverlässig zu messen und liefert die Genauigkeit und Details, die für die Entwicklung führender Chips und integrierter Schaltungen erforderlich sind. Darüber hinaus tragen die automatisierten Prozesse dazu bei, Fehler zu reduzieren, die Durchlaufzeiten zu verringern und die Profitabilität zu steigern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor