Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9215499 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9215499
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Film thickness measurement system, 8"
SMIF System: (2) Indexers
Handler system: Robot unit
NANOMETRIC / ACCENT Q240AT
1994 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es bietet ein umfassendes Paket zur sehr genauen Prüfung von Wafern bis zu Durchmessern von 200mm. Seine einzigartigen Eigenschaften ermöglichen eine schnelle und zuverlässige Erkennung von Defekten in einer Vielzahl von Waferstrukturen. Das KLA OP 2600 System verwendet fortschrittliche optische und Lasermesstechnik-Tools, um seine Tests durchzuführen. Die optische Einheit verwendet eine dreiteilige feste optische Maschine, die Auflösung, Wiederholbarkeit und Genauigkeit bietet. Das Laserwerkzeug ist in der Lage, eine breite Palette von Parametern wie Reflektivität, Waferprofil, Form, Dicke, Oberflächenrauhigkeit usw. zu messen. Darüber hinaus unterstützen mehrere in die Softwarearchitektur integrierte Software-Algorithmen bei der Analyse von Bildern und bieten eine breite Palette von Datenverarbeitungsfunktionen. Die Anlage ist in der Lage, mehrere Wafer automatisch gleichzeitig mit dem patentierten Multi-Wafer-Halter zu testen. Dies erleichtert die Waferprüfung und Qualitätssicherung. Die Software-Suite automatisiert die Datenerfassung sowie die Datenverarbeitung und ermöglicht die Lieferung von Testergebnissen am selben Tag. TENCOR OP 2600 kann auch verwendet werden, um Wafer mit einer Auswahl von berührungslosen Messtechniken wie Spektroskopie und Oberflächenanalyse zu charakterisieren. Dies ermöglicht es, genaue Daten für eine Vielzahl von Wafer-Strukturen zu erzeugen, einschließlich Standard-Silizium-Wafer, SOI (Silizium auf Isolator) Wafer, STI (flache Trench Isolation) Wafer, MEMs (mikro-elektro-mechanisches Modell) Wafer und vieles mehr. THERMA-WAVE OP 2600 wurde entwickelt, um rauen Umweltbedingungen standzuhalten. Die Geräte sind mit automatisierten Reinigungssystemen ausgestattet und verwenden umweltfreundliche Flüssigkeitsreinigungslösungen, um sicherzustellen, dass Tests nicht kontaminiert werden. Darüber hinaus ist das System mit verschiedenen Sicherheitsvorschriften wie EMV-Richtlinien konform, so dass die Sicherheit bei der Verwendung des Geräts gewährleistet ist. Insgesamt ist OP 2600 eine ideale Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine für Fertigungsprozesse, die Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit erfordern. Die fortschrittliche optische und Lasermesstechnik sowie die Umweltverträglichkeit machen es zu einer zuverlässigen und wertvollen Ergänzung für jedes Labor oder jede Produktionsstätte.
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