Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293828327 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die den Prüf- und Messtechnik-Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses System vereint die besten der drei wichtigsten Technologien - optische, Rasterelektronenmikroskopie (SEM) und thermische Analyse - um eine umfassende Lösung für die Prüfung und Charakterisierung von Halbleiterscheiben und Siliziumbauelementen zu bieten. KLA Optiprobe 2600 verwendet ein patentiertes Dual-Option-Mikroskop-Design, das den Wechsel zwischen optischer und elektronenmikroskopischer Untersuchung ermöglicht. Dies ermöglicht es dem Benutzer, vollständige Wafertests und Mehrfachstempelanalysen durchzuführen, einschließlich Fehleranalyse und Fehlerklassifizierung. Das Gerät ist mit einem fortschrittlichen optischen Mikroskop ausgestattet, das bis zu 4K Bildauflösung und eine herausragende Flexibilität für die automatisierte Inspektion und Analyse sowohl großer als auch kleiner Merkmale bietet, ohne dass das Mikroskop manuell angepasst werden muss. Die Maschine kann auch zur Messung der Form-zu-Form-Ausrichtung verwendet werden, so dass eine präzise Ausrichtung über Wafer sowie eine Hochdurchsatz-Anomalie-Inspektion und eine hochpräzise Makro- und Mikroskalierung aufrechterhalten werden kann. Das fortschrittliche SEM der TENCOR Optiprobe 2600 kann eine Auflösung von 5 nm erreichen und die hochauflösenden Bilder und 3D-Oberflächentopographie von Defekten erfassen. Darüber hinaus verfügt das SEM über eine Spannungs-, Strom- und Stufenpositionierungssteuerung, die eine Oberflächenabbildung, Bildgebung und Pulsmessung ermöglicht. Das Werkzeug weist ferner einen proprietären Wärmeanalysesteuergerät zur Charakterisierung von Halbleiterbauelementeigenschaften auf. Diese Anlage kann eine Genauigkeit von 0,06 ° K erreichen und bietet Datenerfassungsfunktionen für die Leistungs- und thermische Charakterisierung über einen Temperaturbereich von -150 bis + 300 ° C. Die Kombination dieser drei fortschrittlichen Technologien macht THERMA-WAVE Optiprobe 2600 zu einem idealen Werkzeug für Wafertests und Messtechnik. Dieses Modell bietet zuverlässige und wiederholbare Messungen der Geräteleistung sowie daraus resultierende Initiativen zur Ertragssteigerung auf Stanz- und Waferebene.