Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9212840 zu verkaufen
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ID: 9212840
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Film thickness measurement system, 8"
Handler type: 200 mm Open
Upgraded SBC to Pentium III 600 MHz
Increased HDD capacity to 6 Giga
Non-pattern measurement
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
1995 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hochpräzise Messungen von Schwankungen der elektrischen Eigenschaften auf der Oberfläche unterschiedlichster Halbleiterscheiben ermöglicht. Dieses System ist entworfen, um den Messvorgang zu automatisieren, so dass es viel effizienter und genauer als manuelle Inspektion mit manuellen Mikroskopen. Die KLA Optiprobe 2600 ist mit einer Embedded-Vision-Einheit ausgestattet, die den Operationsprozess vereinfacht und bessere Ergebnisse liefert. TENCOR Optiprobe 2600 besteht aus drei Modulen: dem Imaging Module, dem Tester Module und dem Measurement Module. Das Imaging Modul verfügt über eine CCD-Kamera zur Bildgebung und Inspektion der Oberfläche des Wafers auf Defekte. Das Tester-Modul verfügt über eine Prüfkammer, die in der Lage ist, verschiedene elektrische Tests von mehreren Sub-Tester-Standorten gleichzeitig durchzuführen. Das Messmodul ist eine integrierte Messlösung, die alle notwendigen Komponenten für effiziente und genaue Prüf- und Messtechnik umfasst. Die THERMA-WAVE Optiprobe 2600 Plattform ist auch mit KLA WINTEST Software ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, den Testprozess zu automatisieren. WINTEST-Software kann verwendet werden, um die Maschinenparameter einzustellen, den Testprozess zu steuern, Messdaten zu analysieren und mehrere Test-Setups zu konfigurieren. Darüber hinaus ist Optiprobe 2600 so konzipiert, dass es vollständig mit der branchenüblichen TENCOR S2K Software kompatibel ist, sodass Kunden dieselbe Software in verschiedenen Bereichen verwenden können. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600 wurde entwickelt, um präzise Ergebnisse mit einer hochpräzisen Messauflösung von 0,02 µm zu liefern. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafertypen zu testen, einschließlich Einzel-, Doppel- und Mehrschichtwafer. Darüber hinaus eignet sich die KLA Optiprobe 2600 für die Prozess- und Qualifikationsüberwachung in den anspruchsvollsten Produktionsumgebungen zur Oberflächenprofilprüfung und Messtechnik. TENCOR Optiprobe 2600 bietet die höchste Leistung in der Wafer-Prüfung und Messtechnik. Es maximiert die Effizienz von Prüf- und Messtechnik-Operationen und bietet zuverlässige und genaue Messungen. Das Tool ist ideal für Prober, Prozessingenieure und andere Halbleiterfachleute, die nach einer schlanken und effektiven Methode zur Inspektion von Wafern suchen.
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