Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9200135 zu verkaufen

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9200135
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für höchste Präzisionshalbleitertests und automatisierte Messtechnik. Es vereint zahlreiche Technologien wie Video und Optik, um die Eigenschaften eines Halbleiterwafers und seiner zugehörigen Komponenten genau zu messen. Das System hat auch die Fähigkeit, zerstörungsfreie Auswertungen durchzuführen, was bedeutet, dass der zu prüfende Wafer während des Prozesses nicht beschädigt wird. Die OptiFlex Architektur des Geräts kann an die Kundenbedürfnisse angepasst werden; es kann mit über 15 verschiedenen Modulen konfiguriert werden, die von hochauflösender Videoprüfung bis hin zur Mikroverarbeitung elektrischer Defekte variieren. Die erweiterte Videomaschine KLA OPTIPROBE 2600B ermöglicht eine bis zu 100X Vergrößerung, die eine hochauflösende Bildgebung und Querschnittsanalyse der Wafereigenschaften auf Nanometerebene ermöglicht. Es kann auch Korrosion, Samen, kleine Partikel, Flüssigkeiten, Risse, Beulen und Merkmale des Geräts in einer Vielzahl von Anwendungen einschließlich fehlerbasierter Inspektion und 3D-Formmessungen abbilden und identifizieren. TENCOR OPTIPROBE 2600B ist in der Lage, die elektrischen Eigenschaften der Geräte auf dem Wafer sowie physikalische Eigenschaften wie Dicke zu messen. Seine hochpräzise optische Technologie erreicht eine Auflösung von bis zu einem Nanometer, mit wiederholbaren Messungen und ohne Auswirkungen auf die Integrität und Qualität des Wafers. Darüber hinaus ist das Tool in der Lage, Messdaten schnell mit technischen Zeichnungen und On-Wafer „Fingerabdrücken“ zu vergleichen, um eventuelle Abweichungen zu erkennen. Das Asset bietet auch automatisierte Oberflächenprofilometrie, die hochauflösende Oberflächenmessfunktionen zur Erfassung von Höhe und Form bietet. Dies kann zur Überwachung des Wafer-Produktionsprozesses verwendet werden, um die Effizienz zu verbessern und sicherzustellen, dass Geräte kritischen Anforderungen an Größe und Form entsprechen. Für Tests und Datenanalysen ist das Modell mit KLA WAVE-Kartensoftware ausgestattet, einer integrierten Metrologie-Suite von Software-Tools. Dies bietet benutzerfreundliche Funktionen, um die gesammelten Daten zu analysieren und Messberichte zu erstellen. Diese Berichte sind ein wesentlicher Bestandteil eines Qualitätskontrollprozesses und werden verwendet, um Entscheidungen über eine Charge von Wafern zu treffen und sicherzustellen, dass sie den Konstruktions- und Leistungsspezifikationen entsprechen. Darüber hinaus bietet das Gerät volle Datenkontroll- und Konfigurationsfunktionen, wodurch Benutzer Systemparameter wie Testfrequenzen und Messbereiche leicht ändern können. Dies ermöglicht benutzerdefinierte Test- und Datengenerierungsaktivitäten, so dass das Gerät für Forschung und Entwicklung verwendet werden kann. Abschließend ist THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die mehrere Technologien für hochpräzise Halbleitertests kombiniert. Mit seiner breiten Palette an anpassbaren Modulen und integrierter Software sowie Datenüberwachung und Konfigurationsoptionen ist das Tool ein unschätzbares Werkzeug sowohl für die Qualitätskontrolle in der Produktion als auch für die Produktentwicklung.
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