Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9220005 zu verkaufen
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ID: 9220005
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Film thickness measurement system, 8"
1996 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B Wafer-Prüf- und Messtechnik bietet erweiterte Möglichkeiten für eine breite Palette von Wafer-Prüf- und Messtechnik-Anwendungen wie Prozessentwicklung, Überwachung und Steuerung, Fehlererkennung, Fehlererkennung, Datenerfassung, Wafer-Level. Dieses System verfügt über ein hochflexibles, skalierbares und konfigurierbares Design, das mit einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid, Indiumphosphid und anderen arbeiten kann. Es unterstützt auch Wafer bis 200mm Durchmesser mit einer Genauigkeit von 10µm. KLA OPTIPROBE 2600B besteht aus einem kompakten, massenmarktorientierten Formfaktor, der die Test- und Messtechnik einfacher, schneller und kostengünstiger macht. Zu den Komponenten der Einheit gehören ein Intendiertes-Debug-Teilsystem, eine Testmusterautomatisierung und eine umfassende Suite von Testwerkzeugen. Das Subsystem Intended-Debug bietet eine detaillierte Analyse einzelner Wafer mit Funktionen wie Schaltungsfehlerlokalisierung, Schaltungsparameteroptimierung und Fehleranalyse. Die Testmusterautomatisierung vereinfacht die Optimierung der für messtechnische und kalibrierende Tests verwendeten Testmuster, um die besten Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus umfasst TENCOR OPTIPROBE 2600B eine umfassende Palette von Testwerkzeugen wie XY-Bühnenbewegung, Sondenscannen, digitale Human Machine Interface (HMI), Fuzzy-Logik-Prozessor und verschiedene andere. OPTIPROBE 2600B verfügt über eine fortschrittliche Scan-Set-Erfassungsmaschine, die bis zu drei gleichzeitige nicht überlappende Scans bietet, um den Zeitaufwand beim Austausch von Wafern und Testsonden zu eliminieren. Es bietet auch bis zu 12 gleichzeitige Positionierachsen mit Präzision erreichen +/- 1 Mikron, und an Bord nichtlineare Kompensation für xy, z und theta Achse Prüfschritte. Alle Messergebnisse werden mit dem Matlab-Datenrekorder erfasst, was eine einfache Übertragung der Daten in eine Tabelle oder ein anderes Analyseprogramm ermöglicht. Darüber hinaus verfügt THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B über eine eingebettete Datenbank, die das Verwalten, Archivieren und Vergleichen von Ergebnissen über einen längeren Zeitraum erleichtert. Insgesamt ist KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B Wafertest- und Metrologiewerkzeug ein leistungsfähiges, vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das für eine Vielzahl von Wafertest- und Metrologieanwendungen eingesetzt werden kann. Das umfassende Leistungsspektrum wird die Entwicklung, Steuerung und Analyse großer Wafer optimieren. Es bietet Anwendern auch bis zu 12 gleichzeitige Positionierungsachsen für genaue Messungen und eine integrierte nichtlineare Kompensation für reibungslose und präzise Ergebnisse. Der integrierte Matlab-Datenrekorder und die Onboard-Datenbank machen es einfach, Daten über lange Zeiträume zu verwalten, zu archivieren und zu vergleichen. Mit der hohen Genauigkeit und Flexibilität, die KLA OPTIPROBE 2600B bietet, können Anwender zuverlässige Test- und Messergebnisse aus jedem hergestellten Wafer sicherstellen.
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