Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690 #9395501 zu verkaufen

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690
ID: 9395501
Wafergröße: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für den Einsatz in modernen Halbleiterfertigungsanlagen entwickelt wurde. Die KLA Optiprobe 2690 ist mit einer Reihe von Mess- und Analysefähigkeiten ausgestattet und bietet eine umfassende Lösung, um die verschiedenen Merkmale von Dünnschichtstrukturen und -prozessen genau und effizient zu untersuchen und zu analysieren. Das System verwendet thermoelektrische (TE) und photooptische (PO) Messtechniken, um präzise Daten über Topograph, Zusammensetzung, Filmdicke und andere kritische Eigenschaften von Halbleiterbauelementen zu erhalten. TENCOR Optiprobe 2690 ist mit einer integrierten TE-Sonde ausgestattet, die eine automatisierte Wafer-Abbildung und Bildgebung ermöglicht und eine hochauflösende Photomikrographie unterschiedlichster Strukturen ermöglicht. Dieses hochpräzise Mapping und Imaging wird durch die Integration einer thermoelektrischen Messeinheit, eines optischen Profilers und einer kompletten Reihe automatisierter Software-Anwendungspakete weiter verbessert. Optiprobe 2690 ist in eine Reihe von Analysetools integriert, die Informationen über eine Vielzahl kritischer Dünnschichtprozesse liefern. Diese Verfahren umfassen: Filmdicke, Topographie, Ätzrate, Eindringtiefe und Dotierstoffverteilung. Darüber hinaus bietet diese Maschine robuste Diagnose- und Charakterisierungstechniken, die auf präzise Produktionsergebnisse zugeschnitten sind. Darüber hinaus ist THERMA-WAVE Optiprobe 2690 spezifiziert, um eine Reihe von erweiterten Steuerungsfunktionen, einschließlich manueller und automatischer Motorsteuerung, XYZ automatische Nivellierung und Wafer ID Autoloading enthalten. Das Werkzeug enthält auch ein Komponentenanalyse-Asset (CAS), das die Ermittlung wichtiger Funktionsparameter wie Strom- und Spannungsleckagen unter Verwendung des entsprechenden Sonden- und Testsignals erleichtert. Das Modell ist weiter mit verschiedenen Möglichkeiten der Probenmanipulation und Temperatursteuerung ausgestattet. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690 ist auf Effizienz und Vielseitigkeit ausgelegt und bietet eine wirtschaftliche Lösung für die sich ständig weiterentwickelnden Herausforderungen der Halbleiterindustrie. Die automatisierte und integrierte KLA Optiprobe 2690 ist eine zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die Präzision und optimale Ergebnisse gewährleistet.
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