Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #293652610 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200 ist eine Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die genaues, Hochgeschwindigkeits-Wafer-Scanning mit dedizierten Metrologie-Tools kombiniert. Es verwendet fortschrittliche CCD-Sensoren in seinem optischen System, um genaue Wafer-Scanning zu gewährleisten, und ist für die Prüfung und Messtechnik von 200 mm (8-Zoll) und 300 mm (12-Zoll) Wafern konzipiert. KLA Spectra FX 200 ist in der Lage, zweidimensionale und dreidimensionale Messtechnik auf einer breiten Palette von Waferdicken, Materialien und Mustern durchzuführen. Dazu gehören Messungen kritischer Maße (CD), Messungen der Ätztiefe und Überlagerungsmessungen. Es hat die Fähigkeit, mehrere Schichten von Merkmalen auf Wafern zu erkennen, und kann auch Partikelgrößen und chemische Verunreinigungen messen. TENCOR Spectra FX 200 verwendet eine patentierte untere Druckerzeugungseinheit für hochauflösende Messungen, die es ermöglicht, kleine Änderungen der Wafereigenschaften mit großer Genauigkeit und Auflösung zu verfolgen. Diese Maschine ermöglicht auch eine Echtzeit-Rückkopplungssteuerung des Scanvorgangs. Es verfügt über eine fortschrittliche computergesteuerte Bühne für eine schnelle, genaue Wafer-Positionierung. THERMA-WAVE Spectra FX 200 bietet eine Vielzahl verschiedener optionaler Komponenten, darunter einen automatisierten Substratlader, einen Probentransferroboter, Flüssigkeitskühlung für höhere Scangeschwindigkeiten, eine Inline-Mapping-Station und integrierte Gassteuerungen. Es kann mit mehreren verschiedenen Mikroskopen integriert werden, einschließlich fokussierter Ionenstrahl und Rasterelektronenmikroskope. Darüber hinaus ist das Spectra FX 200-Tool mit einem leistungsstarken PC-basierten Softwarepaket ausgestattet, das eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Insgesamt ist KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200 ein leistungsfähiges und vielseitiges Wafer-Test- und Messtechnik-Asset. Es bietet genaue, Hochgeschwindigkeits-Scanfunktionen und bietet gleichzeitig mehrere Ebenen der Funktionserkennung und eine breite Palette optionaler Komponenten. Das Modell lässt sich einfach in andere Mikroskope integrieren und ist mit einem leistungsstarken PC-basierten Softwarepaket ausgestattet, das die Einrichtung und Bedienung vereinfacht.