Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 #293591665 zu verkaufen

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ID: 293591665
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Optical review system, 12" Process: Scatter (3) Load ports Robot / Stage controller FOUP opener: SINFONIA EMO Recessed Panel interlock Power cable: 3m Does not include: Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 200 VAC, Single phase 2013 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 ist eine führende Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Qualitätskontrolle in einer Vielzahl von Anwendungen der Halbleiterindustrie. Es bietet eine Reihe von Wafer-Messtechnik-Tools, von Laser-Vektor und Beugungsmuster-Analyse, Radiometrie-Analyse, genaue Messung und Vergleich von Parameterwerten zu konsistenten und wiederholbaren Ergebnissen. KLA Spectra-Shape 8660 bietet eine Vielzahl von Messmöglichkeiten. Es verwendet Laservektorabtastung und Beugungsmusteranalyse, um Oberflächentopographieinformationen aus Waferproben zu erhalten und liefert extrem genaue quantitative Analyse, um Änderungen in Oberflächenmerkmalen wie Oberflächenrauhigkeit, Korngrenzen, Reliefmerkmale, Ebenheit usw. zu bewerten. Darüber hinaus bietet TENCOR Spectra-Shape 8660 auch eine breite Palette von radiometrischen Fähigkeiten, die absolute optische Reflexionswerte bestimmter Oberflächen bestimmen können. Die Leistung von Spectra-Shape 8660 ist außergewöhnlich; Es verwendet eine Bewegungsstufe, die ultrapräzise Bewegungen in x- und y-Richtung, einen Wellenlängenbereich von bis zu 30 nm, ein System optischer Linsen und eine speziell entwickelte Abbildungskammer liefert, um seine Messwerte genau zu halten. Darüber hinaus wurde seine Optik entwickelt, um den thermischen Kontrast zu reduzieren, und seine Abtaststufe wurde entwickelt, um eine reibungslose Bewegung auch bei Proben zu gewährleisten, die nicht perfekt flach sind. Das Gerät bietet verschiedene benutzerfreundliche Schnittstellen mit umfassenden Diagnose-, Alarm- und automatischen Scan-Parametern, die eine einfache Bedienung und einfache Einrichtung bei Routinemessungen ermöglichen. Darüber hinaus verfügt THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 auch über eine Vielzahl statistischer Analyseoptionen, automatisierte Kalibrierroutine und Messverfahren, Trendanalysefunktionen, integrierte Bildkontrast- und Filterwerkzeuge sowie eine einfach zu bedienende GUI. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 ist eine Spitze der Line-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die eine Vielzahl von Merkmalen mit hoher Genauigkeit genau messen kann. Sein modernes Design und seine ausgefeilte Software bieten schnelle, zuverlässige Messungen und die Möglichkeit, Parameterwerte schnell mit konsistenten und wiederholbaren Ergebnissen zu vergleichen. Dieses Werkzeug ist ein äußerst wertvolles Werkzeug für die Qualitätskontrolle und Produktion von Halbleitern.
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