Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 300 #293642292 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für den Einsatz in der Elektronik- und Photonikindustrie. Es liefert hochgenaue Messungen mit nanometrologischer Auflösung und Echtzeit-Datenerfassung. Dies macht es zu einer idealen Lösung für Anwendungen wie fortschrittliche Lithographie, Forschung und Entwicklung und Halbleiterherstellung. Das System ist in der Lage, Wafer bis 300mm Durchmesser zu testen und Dicken bis zu 1nm zu messen. Es verfügt über eine fortschrittliche automatisierte Stufe für schnelles Laden und Positionieren von Proben mit präzisen Navigations- und Stabilisierungsfunktionen. Sein fünfachsiger Roboterarm kann so konfiguriert werden, dass er Wafer pflückt und platziert oder schwere Komponenten handhabt, sodass automatisierte Testabläufe schnell und präzise abgeschlossen werden können. Darüber hinaus unterstützt das Gerät die automatisierte Messung hoher Datenmengen mit voller Rückverfolgbarkeit und Prozesssteuerung. Die KLA Therma-Sonde 300 ist mit einer optimierten optischen Maschine mit einem 50mm Objektiv ausgestattet, um eine hervorragende Bildauflösung und Kontrast zu bieten. Die hochauflösende CCD-Kamera bietet ein 4-6mm Sichtfeld und eine Auflösung von bis zu 1 nm. Das Tool unterstützt auch die Fraktographie und Mikromesstechnik mit einer Fleckengröße von 5,0 μ m und einer Genauigkeit von 5 nm. Die Anlage kann auch im berührungslosen Modus betrieben werden, entweder mittels Wärmebildgebung oder einer Kombination aus Thermographie und Fotodiodenbildgebung. Dies ermöglicht Hochgeschwindigkeitsmessungen mit thermischer Auflösung bis nur 1mK. Darüber hinaus verfügt das Modell über automatisierte Messtechnik-Funktionen wie PCD und CD-SEM, optische CD, LER-Messungen (Line Edge Roughness), CD und CD-SEM-Overlay-Messungen und Back-to-Back-CD. Insgesamt ist die TENCOR Therma-Sonde 300 eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen. Es bietet überlegene Genauigkeit und Präzision, schnelle Datenerfassung und umfassende messtechnische Fähigkeiten, so dass es ideal für Forschung und Entwicklung, fortschrittliche Lithographie und Halbleiterherstellung ist.