Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9296387 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist, um elektrische Parameter fortschrittlicher Gerätestrukturen auf Wafern zu messen. Diese Maschine erzielt aufgrund ihrer fortschrittlichen technologischen Eigenschaften die genauesten und präzisesten elektrischen Messergebnisse. Das System vereinigt die letzte Förderung in der automatisierten optischen Untersuchungstechnologie, einschließlich einer optischen Hochleistungsmikrountersuchungslösung mit der Empfindlichkeit am Nanoskalaniveau und den Echtzeitnichtkontaktmaßen. KLA Therma-Probe 630 zeichnet sich durch hohe Präzision und Genauigkeit, zuverlässige Messungen und schnellen Durchsatz auch auf komplexen Strukturen aus. Die Wafer-Testeinheit ist für ICs im Bereich von 0,5 bis 12 Mikrometer, Wafer bis 150 und 200 Millimeter Wafer und Skalen von 2 bis 3 Mikrometer ausgelegt. Die eingebaute Messtechnik-Maschine hält während der Prüfung eine Waferoberflächentemperatur von -40 ° C bis + 250 ° C aufrecht, und der Wafer kann linear an eine beliebige Elektrodenstelle bewegt werden. Die Maschine bietet auch eine optionale zweiseitige Sonde, so dass sie auf die Rückseite des Wafers zugreifen kann. Um eine optimale Leistung und zuverlässige Linearität zu gewährleisten, verwendet das Werkzeug ausgeklügelte Signalverarbeitungsschaltungen und aktive Temperaturkompensationstechniken. TENCOR THERMAPROBE 630 integriert einen feldprogrammierbaren Gate-Array (FPGA) -Prozessor für simultane parallele Messungen. Es zeigt auch einen schnelllaufenden Digitalsignalverarbeiter (DSP) für die Supergeschwindigkeitsmanipulation von Daten und ein programmierbares Speichergerät, um Daten zu versorgen und wiederzubekommen. Die Anlage ist auch in der Lage, Selbstüberwachungstests durchzuführen, einschließlich Leckagemessungen, Einschaltwiderstand, Linearität, Strom-Spannungs-Kurven und Verbindungskapazität. Alle diese Tests werden mit minimaler Störung der Messungen durchgeführt. Darüber hinaus ist das Modell mit einer erweiterten grafischen Benutzeroberflächensoftware (GUI) ausgestattet, die das Datenmanagement und die Datenanalyse unterstützt. THERMA-WAVE Therma-Sonde 630 ist mit vielen benutzerfreundlichen Funktionen konzipiert. Beispielsweise werden die Wafer automatisch ausgerichtet, und die Maschine kann autonom sein und zwischen verschiedenen Testmodi umschalten, vom statischen Testmodus zum dynamischen Testmodus. Es ist auch in der Lage, verschiedene Arten von Teststrukturen anzuwenden, wie Flip-Chip, nichtflüchtiger Speicher (NVM), Silizium-on-Isolator (SOI) und Biomemristor. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Prüfstufen durchzuführen, von der On-Wafer-I/V-Prüfung (Strom/Spannung) bis zur Ertragsschätzung. Es kann auch an parallele Messungen auf mehreren Wafern angepasst werden. Abschließend ist THERMA-WAVE THERMAPROBE 630 ein hochentwickeltes Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das präzise elektrische Messungen von Wafern unterschiedlicher Größe und Strukturen bereitstellen kann. Es bietet viele vorteilhafte Merkmale, wie hohe Präzision und Genauigkeit, schnellen Durchsatz und Selbstüberwachungstests. Darüber hinaus machen seine benutzerfreundlichen Funktionen und einfachen Datenverwaltungsfunktionen es für jede fortschrittliche Wafer-Testanwendung geeignet.