Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293823526 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Entwicklung und Fehleranalyse von Halbleiterprozessen verwendet wird. Das System bietet eine automatisierte Oberflächen- und Querschnittsanalyse von Wafern oder Matrizen mit hoher Auflösung und Genauigkeit. KLA TP 500 nutzt die Thermographie, um die elektrischen Eigenschaften von Waferoberflächen ohne zerstörenden Kontakt oder optische Mikroskopie zu messen. Dieser Prozess hilft bei der Identifizierung von Beschädigungen und Defekten in kleineren Größenmerkmalen. Die Einheit ist auch in der Lage, Messungen der Matrize und der Ebenheit des Wafers mit berührungslosen Sensoren durchzuführen, die Veränderungen in der Topographie von bis zu 0,3 nm erkennen können. Für die Werkzeuganalyse bietet TENCOR TP-500 automatische Stanzpositionierungsfunktionen mit manuellen und automatisierten Stanzadressübergängen, um leicht von einem Ort zum nächsten zu wechseln. Die Maschine verfügt über eine XY-Stufe von 45x45mm oder 90x90mm und bietet eine umfassende Abbildung für die Waferanalyse. Das Tool verfügt auch über hochauflösende Bildgebung mit einer Schärfentiefe von bis zu 0,5 µm, digitale Bildaufnahme, automatische Werkzeugauswahl und Druckdetektor-Technologie. Seine Bildanalysetools umfassen fortgeschrittene Partikelzählung, kritische Dimensionsmessung und elektrische Signaturanalyse. TP 500 kann eine Vielzahl von messtechnischen Berichten in verschiedenen Formaten wie kombinierter Zusammenfassung, Fehlermechanismusanalyse, Pass/Fail und topographischen Berichten generieren. Das Asset ermöglicht auch die Überprüfung der Zuordnung kritischer Parameter wie Schwellenwerte, Ebenheit, Konnektivität und Wiederholbarkeit der Form-to-Die. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine intuitive, benutzerfreundliche Oberfläche und ermöglicht die Diagnose und Reparatur von Fernausrüstungen. Es wurde entwickelt, um RoHS-Konformität zu erfüllen und bietet High-Speed-Sampling mit einem Durchsatz von bis zu 120 Wafern pro Stunde. THERMA-WAVE TP-500 ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Prüf- und Messtechnik-System für anspruchsvolle Halbleiterprozesse.