Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #9296615 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500
Verkauft
ID: 9296615
Weinlese: 1996
Ion dose monitor system 1996 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es bietet Anwendern genaue und zuverlässige Messungen sowohl physikalischer als auch elektrischer Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Das System verfügt über robuste Hardware und Software, die es Anwendern ermöglicht, komplexe Tests mit reproduzierbaren Ergebnissen auf verschiedenen Substraten zu implementieren. KLA TP 500 wurde entwickelt, um sowohl Waferform als auch optische kritische Abmessungen (OCD) auf gemusterten Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 5 "zu messen. Es kann auch verwendet werden, um Dünnschichtdicke sowie elektrische Parameter wie Widerstand und Leitung ¬ tance zu messen. TENCOR TP-500 wird mit einem großen optischen Beschlussmikroskop mit einem einheitlichen Muster recogni ¬ tion Verarbeiter und ein CCD-Laserscanner ausgestattet, die beide dazu fähig sind, verschiedene Typen von Substratmaterialien zu behandeln. Der automatisierte Fokusmotor ermöglicht es Benutzern, schnell zwischen verschiedenen Brennweiten für genaue Messungen mehrerer Schichtstrukturen zu wechseln. Darüber hinaus kann die integrierte Vision-Einheit verwendet werden, um eine genaue Ausrichtung für Überlagerungsmessungen zu gewährleisten. Die Maschine ist zudem mit einer hochpräzisen Waferstufe ausgestattet, die den Wafer für präzise OCD-Messungen exakt positionieren kann. Zusätzlich ist die Bühne mit einem stoffbezogenen Waferhalter ausgekleidet, der Waferschäden durch statische Elektrizität reduziert. Im Hinblick auf das Datenmanagement ist das Tool mit einer leistungsstarken Datenverarbeitungssuite ausgestattet, mit der Anwender Messergebnisse schnell analysieren und Berichte erstellen können. Die Suite unterstützt verschiedene webbasierte Dienste für den Remote-Datenzugriff sowie den effizienten Datenaustausch. Das Asset enthält außerdem ein umfassendes Support-Paket, das Wafer-Muster-Bibliotheken, Schulungsmaterialien und Anleitungen zur Fehlerbehebung enthält. Insgesamt ist KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500 ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das überlegene Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet. Seine zuverlässige und effiziente Hardware und fortschrittliche Software ermöglichen es Anwendern, komplexe Tests mit reproduzierbaren Ergebnissen zu implementieren, die kritischen Industriestandards entsprechen.
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