Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759748 zu verkaufen

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP ist eine Multifunktions-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hochgenaue und schnelle messtechnische Anwendungen entwickelt wurde. Das System verfügt über Hochleistungsoptik und hochwertige Bildgebung zur Analyse und Messung von Proben. Es ist mit einer schnellen und zuverlässigen AutoFocus-Einheit sowie einem einzigartigen In-Sight-Algorithmus ausgestattet, um komplexe Gerätestrukturen aus großen Wafern schnell zu analysieren. KLA TP 630XP verwendet eine automatisierte Stufe für hocheffiziente Probenscanner und bietet drei Geschwindigkeiten, um die beste Geschwindigkeit und Genauigkeit für Messtechnik und Charakterisierungsanwendungen zu erreichen. Mit einer maximalen Schrittweite von 2,5 um können TENCOR TP 630XP Schaltungsmerkmale bis zu Sub-Mikron-Pegeln messen. Die FP- 630XP bietet außerdem drei Beleuchtungsauswahlen für unterschiedliche Prüfanforderungen. Dazu gehören weißes Licht, polarisiertes Licht und Dunkelfeldbeleuchtung. TP 630XP verfügt über eine hochauflösende CCD-Kamera mit wählbaren Auflösungen von 550 x 570 bis 3.424 x 2.656 Pixel. Die Bildverarbeitungssoftware der Kamera kann Daten von ganzen Wafern mit großer Genauigkeit analysieren. Die Maschine unterstützt auch eine breite Palette von Probenvorbereitungsmaterialien, die vor der Prüfung eine Waferdünnung, Scharniersondierung und Ätzung ermöglichen. THERMA-WAVE TP 630XP bietet auch erweiterte messtechnische Funktionen, die eine hochpräzise Messung von Höhe, Neigung, Eck- und Kantenradius sowie anderen Mikromerkmalen ermöglichen, um eine Fehlerüberprüfung und -analyse durchzuführen. Darüber hinaus umfasst das erweiterte Softwarepaket Bildverarbeitungswerkzeuge für die automatische Geräteerkennung, Wafer-Overlay- und Overlay-Messungen sowie kritische Dimensionsmessungen. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP ist für die Herstellung auf Waferebene sowie die automatisierte Messtechnik zur Überwachung von Lithoätzprozessen zertifiziert. Das Werkzeug ist kompatibel mit einer Vielzahl von Industriestandard Plasmaätz- und Descum-Prozessen. Mit seinen umfassenden Funktionen ist KLA TP 630XP darauf ausgelegt, die Messtechnik auf Waferebene zu verbessern, Kosten zu senken und die Produktionserträge zu steigern.