Gebraucht KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293793232 zu verkaufen

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP
ID: 293793232
Metrology system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP ist eine fortschrittliche Laser-Wärmebildwafer-Prüf- und Messtechnik. Es verwendet Infrarot-Thermographie, um den elektrischen Widerstand eines Wafers bei Submikronauflösungen zu messen, so dass es für eine Reihe von Halbleiterherstellungsprozessen geeignet ist. KLA TP 630XP ist in der Lage, komplexe dreidimensionale Strukturen zu messen, ohne manuelle Ausrichtungs- oder Nachmessberechnungen zu benötigen. Es führt eine schnelle, zerstörungsfreie Prüfung von dünnen Filmen, Merkmalen und Materialien durch, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet werden. Der Wafer wird mit einem Laserstrahl beleuchtet und das von der Wärmebildkamera registrierte Infrarot in relative Widerstandswerte umgesetzt, die dann mit einem Standard korreliert werden. Das System ist schnell und zuverlässig mit Datenerfassungsgeschwindigkeiten von bis zu 5.000 Punkten pro Sekunde und bietet eine umfassende Analyse in Echtzeit. Es verfügt über eingebaute Sicherheitsmechanismen und mehrere Alarme, um das Personal auf Gefahren wie hohe Temperaturen aufmerksam zu machen. Die Berichtsfunktionen der Einheit ermöglichen eine nahezu sofortige Speicherung und Analyse von Datensätzen. TENCOR TP- 630XP können Widerstandswerte in jeder Richtung (bidirektionaler Widerstand) sowohl auf als auch aus dem Wafer genau messen, auch bei stark lokalisierter Nichtlinearität. Die bidirektionalen Widerstandsmessungen von TP 630XP genaue, wiederholbare und rückverfolgbare Ergebnisse garantieren. Darüber hinaus eignet sich die Hochleistungs-Bildaufnahme und Signalanalyse für fortgeschrittene Tests in tiefen Submikronstrukturen. Neben der thermischen Bildgebung umfasst THERMA-WAVE TP 630XP spezialisierte messtechnische Werkzeuge wie eine Prozesssteuerungsmaschine für Daten- und Parametermessungen und ein Rapid Results Analysis Tool zur effizienten Identifizierung von Prozessfehlern. Es enthält auch Funktionen wie einen automatischen Ausrichtungs- und Stabilisierungsmechanismus, um die manuellen Ausrichtungskosten zu reduzieren. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP ist eine effiziente und präzise Wafertest- und messtechnische Komponente, die sich für viele Produktionsprozesse in der Halbleiterindustrie eignet. Seine fortschrittlichen thermischen Bildgebungs- und Messtechnik-Fähigkeiten ermöglichen die schnelle und genaue Analyse komplexer dreidimensionaler Strukturen und seine eingebauten Sicherheitsmerkmale und Berichtsfunktionen machen es zu einem zuverlässigen und sicheren Modell für alle Arten von Wafertests und messtechnischen Anforderungen.
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