Gebraucht KLA / TENCOR UV 1050 #293619569 zu verkaufen

ID: 293619569
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Es ist ein vollautomatisches, Hochdurchsatz-Inspektions- und Messtechnik-System, das Echtzeitdaten auf jedem Wafer liefert. KLA UV 1050 ist in der Lage, Eigenschaften im Nanometermaßstab mit Präzision und Genauigkeit zu messen. Die Einheit funktioniert mit einer Reihe von Laser- und Sehtechniken. Dazu gehören Laserstreuung, Laserinterferometrie, Weißlichtinterferometrie, bildbasierte Inspektion und Messtechnik sowie Fluoreszenzmesstechnik. Beispielsweise misst die Laserstreuung die Streuung von Laserlicht von einer Waferoberfläche, so dass geometrische Messungen von Nanometermerkmalen möglich sind. Die Laserinterferometrie bildet die Mikrotexturen der Waferoberfläche ab, um die dreidimensionale Topographie zu erfassen. Weißlichtinterferometrie misst Filme, Filme auf Filmen und Topographie auf Filmen mit Nanometerauflösung. Bildbasierte Inspektion misst das Vorhandensein, die Größe und die Form von Defekten. Schließlich misst die Fluoreszenzmesstechnik das von der Oberfläche des Wafers emittierte Licht, um kritische Komponenten und Defekte zu erkennen. TENCOR UV 1050 wurde entwickelt, um es Herstellern zu ermöglichen, kritische Fehler leichter zu erkennen und Prozessparameter in der Produktion von großvolumigen Wafern zu steuern. Seine leistungsstarke Optik ermöglicht mehrere Gerätebilder und automatische Scans ganzer Wafer. Die Hochleistungsbildaufbereitungsmaschine gewinnt vier Bilder pro Sekunde, schnelle und genaue Ergebnisse bietend. Die bildbasierten messtechnischen Fähigkeiten des Werkzeugs sind in der Lage, zahlreiche Oberflächenmerkmale genau zu messen, darunter TCDs, Filmwiderstände, Topographien, Dickenmessungen und Querschnittsprofile. Darüber hinaus verfügt UV 1050 über proprietäre Brightfeld-, Dunkelfeld- und Fluoreszenzunreinigungstechnologien, die Anwendern eine dynamische Fehlerverbesserung und tiefere Inspektion bieten. Insgesamt bietet KLA/TENCOR UV 1050 eine zuverlässige und einfach zu bedienende Wafer-Test- und Messtechnik-Komponente, die es zu einem wertvollen Kapital für fortschrittliche Halbleiteranlagen macht. Durch die Kombination modernster Bildgebungstechnologie mit automatisierten und Hochgeschwindigkeitsprüfungen bietet KLA UV 1050 Herstellern die Möglichkeit, kritische Fehler im Nanometermaßstab genau zu messen, zu identifizieren und zu kontrollieren.
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