Gebraucht KLA / TENCOR UV 1050 #293752938 zu verkaufen

ID: 293752938
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1992
Film thickness measurement system, 6"-8" 1992 vintage.
KLA/TENCOR UV 1050 ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Halbleiterindustrie. Dieses System bietet eine schnelle und präzise Prüfung der Waferverdünnung und Schichtqualität mit der Fähigkeit, Punktfehler, Waferverzug und Oberflächenrauhigkeit von nackten und beschichteten Halbleiterscheiben zu erkennen. Das Gerät besteht aus zwei Hauptkomponenten: der patic KLA UV 1050 Laser-Interferometrie-Maschine und den betriebsfähigen Subsystemen. TENCOR UV 1050 verwendet einen Präzisionslaser, eine Optik und eine Elektronik, um die Dicke und Gesamthöhe des Wafers genau zu messen. Das Asset besteht aus zwei Laser-Interferometer-Köpfen mit jeweils einer einzigartigen Strahlkonfiguration, die zur Messung der Mengentopographie des Wafers verwendet werden, indem ihre maximale Punkt-zu-Punkt-Dicke-Variation und die Gesamthöhe des Wafers sowie jedes Überzugsmaterial aufgezeichnet werden. Es ist mit einer inhärenten berührungslosen 3-kanaligen optischen Messtechnik ausgestattet, die einen weiten Bereich von Waferdicken über einen weiten Bereich von Einfallswinkeln messen kann. Dieses Modell kann auch Nanometerpartikel auf der Waferoberfläche detektieren. Zusätzlich wird ein Schritt-für-Schritt-Kalibrierverfahren angewendet, um genaue Messungen zu gewährleisten. Die betriebsfähigen Subsysteme sind zur Unterstützung von UV 1050-Geräten konzipiert und umfassen einen programmierbaren Computer zur Steuerung des Systems, ein Rasterabbildungs-Subsystem zur Verfolgung der Waferposition während des Durchlaufs des Interferometers und ein Zither-Nivellierungs-Subsystem, um die Oberfläche des Wafers zu ebnen. Das Gerät ist auch für eine schnelle und einfache Wartung einschließlich automatisierter Diagnose und einer Maschinenkalibrierung für optimale Leistung konzipiert. KLA/TENCOR UV 1050 Werkzeug bietet viele Vorteile für Wafer-Prüfung und Messtechnik. Es gewährleistet präzise und wiederholbare Messungen der Waferverdünnung und Schichtqualität und ist entworfen, um Punktfehler, Waferverzug und Oberflächenrauhigkeit zu erkennen. Die benutzerfreundliche Oberfläche macht es einfach zu bedienen und zu warten, während die wartbaren Subsysteme Unterstützung für genaue und zuverlässige Tests bieten. Darüber hinaus können die flexiblen Konfigurationen des Asset an spezifische Testanforderungen angepasst werden. Letztlich ist das Wafer-Prüf- und Metrologiemodell KLA UV 1050 eine ideale Lösung für Präzisionswafertests in der Halbleiterindustrie.
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