Gebraucht KLA / TENCOR UV 1050 #9247774 zu verkaufen
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ID: 9247774
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1996
Thin film measurement system, 4"-8"
Broadband UV optics
Dual beam spectrophotometry
Polysilicon and UV reflectivity applications
Operating system: Windows NT
Simultaneous multilayer
ESML Measures over 500 discrete wavelengths
Stage resolution:
X,Y: 0.25 μm
Z: 0.025 μm
Automatic focus on measurement
Graphical User Interface (GUI)
Handler: (2) Open cassettes
Floppy drive: 3.5
SECS II Interface
Power supply: 220 V, 50/60 Hz
1996 vintage.
KLA/TENCOR UV 1050 Wafer Prüf- und Messtechnik Ausrüstung ist das führende Messtechnik-Tool für kritische fortschrittliche Verpackungsanwendungen. Dieses System nutzt fortschrittliche Optik einschließlich Ozon-abgeschwächte ultraviolette (UV) Laserbeleuchtung und fortgeschrittene bildgebende Techniken für genaue Fehlererkennung auf Wafern und Substraten. KLA UV 1050 hat die Fähigkeit, mit Wafern von 3 Zoll bis 200 mm zu arbeiten und bietet Fehlererkennung auf Funktionsniveau bis zu 1 μ m mit einem hohen Signal-Rausch-Verhältnis. Die Einheit konzentriert sich auf Prozesssteuerung und Fehlercharakterisierung auf verschiedenen führenden Verpackungssubstraten. Es kann komplexe und fortschrittliche Verpackungssubstrate wie Fan-in-Fan-out (FIFO) und Through-Silizium über (TSV) Anwendungen behandeln. Die bildgebende Maschine von TENCOR UV 1050 verfügt über überlegene Zoomfunktionen, um Funktionen in vergrößerten Details auf verschiedenen Vergrößerungsstufen abzubilden und zu überprüfen. Darüber hinaus ermöglichen die proprietären Algorithmen zur Mustererkennung eine präzise Lokalisierung und Identifizierung von Fehlern, um eine genaue und zuverlässige Bühnennavigation zu gewährleisten. Dieses Tool verfügt über eine Schnittstellenbildarchitektur, die eine ausgezeichnete Bildklarheit und eine Bildaufnahmerate von bis zu 350 Volt pro Sekunde bietet. Dies ermöglicht eine schnellere Kantenerkennung und Bilderfassung, während die Laserfleckstabilität eine Punktgenauigkeit ermöglicht. Darüber hinaus ermöglichen die leistungsstarken Fehlerbearbeitungs- und Überprüfungswerkzeuge eine präzise Korrektur der Bildausrichtung sowie die automatische Erkennung und Klassifizierung von Fehlern. UV 1050 asset verfügt auch über ein integriertes, leistungsstarkes Fehlerüberprüfungs- und Klassifizierungsmodell, das die Fehleranalyse und -klassifizierung vereinfachen und automatisieren soll. Dazu gehören eine erweiterte automatische zeilenweise Inspektion, Fehlererkennung und Überprüfungsfunktionen. Diese Prüfung gewährleistet eine genaue Fehlererkennung, Kategorisierung und Klassifizierung. Die Geräte können auch zur Bereitstellung umfassender statistischer Daten über Geräteleistungen und Fehlertrends sowie zur Fehlerverfolgung verwendet werden. Schließlich bietet KLA/TENCOR UV 1050 auch eine Reihe automatisierter Softwarefunktionen wie Diskriminierung, Filterung, Sortierung und Plotten, die eine schnelle und genaue Analyse von Fehlerdaten ermöglichen. Dieses System ist ideal für fortgeschrittene Verpackungsanwendungen wie Fan-in-Fan-out, Durchsilizium via, 3D-Verpackungen und andere hochdichte Substrate. Darüber hinaus bietet KLA UV 1050 überlegene Fehlergrößenmessungen mit Fräs- und statistischen Analysefähigkeiten, was dieses Messtechnik-Tool ideal für die Prozesskontrolle und kontinuierliche Verbesserung macht.
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