Gebraucht KLA / TENCOR Zeta 20 ZFT #9307818 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9307818
Weinlese: 2018
Optical profilometer
Upgraded from Zeta-20
2018 vintage.
KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das genaue und präzise Daten für die Inspektion, Analyse und Fehlererkennung im Produktionsmaßstab liefert. Es kombiniert fortschrittliche Inspektions- und Messtechnikwerkzeuge, um zuverlässige Ergebnisse für hohe Erträge in der Halbleiterherstellung zu liefern. Zu den Kernkomponenten der KLA Zeta 20 ZFT gehören ein leistungsstarker Bilddigitalisierer, eine quantitative Mustererkennung, eine hochauflösende Digitalkamera und erweiterte Wafer-Mapping-Funktionen. Der Digitalisierer misst Defekte mit hoher Genauigkeit basierend auf Lichtintensität, Mustererkennungsalgorithmen identifizieren Projektionen der Defekte und die Kamera liefert hochauflösende Bilder, so dass Defekte genau bestimmt werden können. Die erweiterten Wafer-Mapping-Fähigkeiten ermöglichen die Abbildung der Oberfläche eines Wafers in Echtzeit und die Bestimmung der optimalen Ausrichtung des Wafers für gute Inspektionsergebnisse. TENCOR Zeta 20 ZFT bietet eine Vielzahl von Echtzeit-Scan- und Messtechnikoptionen an, darunter Auto-Compare/Auto-Analyze, Präzisionsanalyse, zufällige Fehlererkennung, kritische Dimensionstests und Z-Fehlerfilterung. Die Funktion Auto-Vergleichen/Auto-Analysieren bietet eine schnelle Fehlerzuordnung, um die optimale Platzierung für kritische Bemaßungen zu ermitteln. Der Präzisionsanalysemodus bietet eine schnelle und genaue Fehlererkennung, indem hochauflösende Bilder von Probenscheiben erzeugt werden. Die zufällige Fehlererkennung verwendet einen Algorithmus, um automatisch zufällige Fehler auf dem Wafer zu erkennen und zu klassifizieren. Schließlich bietet Critical Dimension Testing Messungen mit hoher Genauigkeit für komplexe Muster, um die kritischen Bemaßungen des KE zu bestimmen. Darüber hinaus nutzt Zeta 20 ZFT fortschrittliche Z-Error Filtration, um unerwünschte Informationen wie statistische Variationen, Cross-Wafer-Effekte, elektrische Störungen und Rauschen auf dem Wafer zu erkennen und herauszufiltern. Dadurch wird sichergestellt, dass sich im Vergleich zu früheren Iterationen der Technologie eine hohe Genauigkeit ergibt. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT ein leistungsfähiges Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das hohe Ausbeuten bei der Halbleiterherstellung gewährleistet. Es enthält modernste Bilddigitalisierer, Mustererkennung, Digitalkameras und fortschrittliche Wafer-Mapping-Technologie, um genaue Ergebnisse zu liefern. Es bietet auch viele Scan- und Messtechnik-Modi, um veränderte Produktionsanforderungen zu erfüllen. Schließlich erhöht die fortschrittliche Z-Error Filtration-Technologie die Datengenauigkeit weiter.
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