Gebraucht KOBELCO / LEO LTA #293642502 zu verkaufen

ID: 293642502
Lifetime measurement system Iron concentration measurement Ample measuring / Indicating modes OX Film / Silicon interface.
KOBELCO/LEO LTA-Geräte sind ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnik-System zur Messung der geometrischen und elektrischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Seine Hauptanwendung liegt in der Überprüfung der Konformität mit Spezifikationen und der Gewährleistung der Prozessstabilität sowie in der Bereitstellung umfassender Informationen über Wafer-zu-Wafer-Variationen. Das Gerät ist mit zwei Stufen ausgestattet, die gleichzeitig die geometrischen Merkmale eines Wafers (Oberflächenstruktur und Dicke) und elektrische Parameter (Widerstand und Isolierung) messen. Die erste Stufe nimmt bis zu 16 physikalische Messungen des Wafers, einschließlich Oberflächenprofil, Abmessungen und nichtleitendes Material wie Oxide oder andere isolierende Schichten, vor. Die zweite Stufe führt elektrische Präzisionsmessungen des Wafers einschließlich Kontaktwiderstand und Isolationswiderstand durch. Die Maschine verwendet einen patentierten Dual-Test-Ansatz, der eine Echtzeit-Datenanalyse sowohl der geometrischen als auch der elektrischen Eigenschaften eines Wafers ermöglicht. Dies ermöglicht Tests mit hohem Durchsatz, reduziert die Testzeit und spart wertvolle Produktionszeiten. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, Fehler und kleine Variationen automatisch zu erkennen, so dass die Hersteller die Prozessstabilität aufrechterhalten können. Die Anlage ist für die Wiederholbarkeit und Präzision ausgelegt. Alle Messungen sind wiederholbar und präzise auf Mikrometer. Die präzise Wiederholbarkeit des Modells ermöglicht auch das Stapeln von Wafern, ohne die Messgenauigkeit zu beeinträchtigen. Die genaue Genauigkeit des Gerätes wird durch spezielle Algorithmen weiter verbessert, die Kontaktwiderstandsmessungen bis zu einer Piciohm-Skala realisierbar machen. LEO ist ein effizientes, aber leistungsstarkes Wafer-Prüf- und Messtechnik-System. Mit dem dualen Testansatz und der präzisen Wiederholbarkeit ermöglicht diese Einheit eine schnelle und genaue Messung sowohl geometrischer als auch elektrischer Eigenschaften eines Wafers. Dies gewährleistet die Prozesswiederholbarkeit und ermöglicht eine bessere Kontrolle der Produktion. Darüber hinaus ist die Maschine so konzipiert, dass sie die Produktionszeit minimiert, indem sie nur einen Durchgang für genaue Ergebnisse benötigt.
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