Gebraucht MDC Duo Chuck #9171324 zu verkaufen
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MDC Duo Chuck ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für simultane Messungen mehrerer Parameter mit hoher Genauigkeit entwickelt wurde, einschließlich Dicke, Ebenheit, Bogen, Steigung, Positionsausrichtung und anderen Parametern. Das System umfasst ein Tieftemperaturfutter, ein robustes Chassis zur Unterstützung des Spannfutters und einen Controller, der sowohl die Drehzahlsteuerung des Spannfutters als auch die Präzisionskontrolle der Bewegung des Spannfutters während der Prüfung ermöglicht. Das Tieftemperaturfutter ist entworfen, um eine Temperatur weit unter der maximalen Betriebstemperatur des Wafers während der Prüfung zu halten, um genaue, wiederholbare Messungen zu gewährleisten. Duo Chuck besteht aus mehreren Schichten und Komponenten. Auf der unteren Schicht befindet sich die Adapterplatte, die das Spannfutter an der Roboterhandhabungseinheit befestigt. Die zweite Schicht ist das mikroelektronische Futter mit extrem niedriger Temperatur, das die beheizte Grundplatte und die Temperaturregelmaschine zur genauen Temperaturregelung enthält. Die dritte Schicht ist das Spannfuttergehäuse, das für Umgebungsisolierung und -ausrichtung sorgt, und die vierte Schicht ist der Ringgetriebemotor, der eine Temperaturregelung, eine Spannfutterantriebsleistung und eine Positionierungssteuerung des Spannfutters bereitstellt. Darüber hinaus verfügt MDC Duo Chuck über Präzisionswerkzeuge und berührungslose Ultraschalltechnologie. Das Präzisionswerkzeug wurde entwickelt, um Messungen hoher Genauigkeit mit verbesserter Auflösung und Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu ermöglichen. Die berührungslose Ultraschalltechnologie ermöglicht eine präzise und genaue Ausrichtung des Wafers auf das Spannfutter während des Tests, wodurch der Wafer ohne Einfluss auf die Messungen hin- und herbewegt werden kann (Neigungswinkel) und nach oben und unten (Bogenwinkel). Duo Chuck-Tool verwendet auch fortschrittliche Selbstreinigungs- und Kalibrierfunktionen, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen zu gewährleisten. Das Asset verfügt über eine integrierte Selbstkalibrierroutine, die regelmäßige Integritätsprüfungen am Spannfutter durchführt, und eine intelligente selbstreinigende Engine, die ihre Umgebung aktiv überwacht und eine tiefe Reinigung ohne manuellen Eingriff durchführt. Zusammen ermöglichen diese Merkmale die genauesten und zuverlässigsten Ergebnisse in der Wafer-Prüfung und Messtechnik.
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